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R e v 2 . 0 0 动作说明书 5- 29 为 0V ，马达停止转动。这些停止动作、加速·减速动作使 XMP 基板安装的增益参数发生大大的 变化，因此需要设定适合系统的增益参数值。 ７． 马达停止之后， XMP 基板的位置管理计数器变为 １００ｍｍ／２ μ ｍ＝５０､０００。 以上的全十字环方式，分别控制速度和位置，为了时常能用电磁标尺检测 XY 轴的现在位置，发生超负 荷皮带伸长也能让轴停止在正确的位置。 采用全十字环方式， …
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5-2 马达的控制方式
5-2-1 XY轴的控制方式
C
X-1 系列，采用 XY 轴的控制方式，全十字还方式。这里说明原理。
XMP基板（JGRMB基板含む）
XY４軸ﾄﾞﾗｲﾊﾞ
①シリアル指令
16bit
モータ
U,V,W相の駆動電源
マグネスケールディテクタ
制御回路
制御回路
位置管理
カウンタ
偏差
カウンタ
⑤位置パルス
マグネ
スケール
センサヘッド
XY軸
移動方向
③磁気検出
ロータリー
エンコーダ
②速度検出
モータ
回転角度検出
④位置検出
速度检测
串行指令
XY 4
轴驱动器
XMP
基板
(
包括
JGRMB
基板
)
控制电 路
位置管理
计 数器
偏差
计 数器
马 达
转动角度检测
相 驱动电源
马 达
电 磁 标 尺
旋 转变换器
位置脉冲
电 磁 标 尺 测 定器
位置检
测
磁性检测
传 感器头
XY
轴
移 动 方向
图 ５－２－１ XY 轴全十字环方式
XY 轴全十字环方式如图 ５－２－１所示。
这里举例说明把 XY 轴从原点移动＋１００ｍｍ时的情况。
１． 控制装置的ＣＰＵ基板把 XY 轴的移动举例、加速·减速、最高转速、增益参数等数据设定到 XMP
基板，发出起动命令。
２． 此时，XMP 基板的位置管理计数器和偏差计数器值为 0。 XMP 基板根据这些数据编制速度方
式，线 XY4 轴驱动器发出①模拟指令。另外，XMP 基板的偏差计数器加算符合速度方式的计数器
值（串行指令）。
３． XY4 轴向马达供给适合串行指令的转举控制电路供电取动马达，马达转动。
４． XMP 基板计算旋转变换器的脉冲，检测马达转速（②检测速度），向①控制串行指令（速度控制），
让马达定速转动。
５． 另外，移动 XY 轴，电磁标尺的传感器检测③磁性检测（每８００ μ ｍ间隔的磁性体）。此传感器
头的④检测信号用电磁标尺分为 400 分（１脉冲＝２ μ ｍ），作为⑤位置脉冲，进行 XMP 基板的偏
差计数器供料反馈（减算），同时加算到位置管理计数器。
６． XMP 基板的偏差计数器输入了位置脉冲之后，偏差计数器进行（指令脉冲）－（位置脉冲）的运
算。控制电路一边确认此偏差值，一边通过①模拟指令控制 XY 轴的位置（位置控制）。 因此，XY
轴靠近目标位置１００ｍｍ之后进行减速，XY 轴到达１００ｍｍ之后，偏差计数器变为 0，串行指令
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为 0V，马达停止转动。这些停止动作、加速·减速动作使 XMP 基板安装的增益参数发生大大的
变化，因此需要设定适合系统的增益参数值。
７． 马达停止之后，XMP 基板的位置管理计数器变为１００ｍｍ／２ μ ｍ＝５０､０００。
以上的全十字环方式，分别控制速度和位置，为了时常能用电磁标尺检测 XY 轴的现在位置，发生超负
荷皮带伸长也能让轴停止在正确的位置。
采用全十字环方式，Y 轴容易事先双伺服化。双伺服时可以同时驱动 2 个马达，但是 YL 轴和 YR 轴的伺
服驱动器和伺服马达特性完全不同。贴装头位置关系和组装状态不同，会使 YL 轴和 YR 轴的负荷条件发
生不同。因此，YL 轴马达和 YR 轴马达转动之后和 X 轴会发生左右位置偏斜。
此时，全十字环方式，用电磁标尺可以检测位置，因此可以定位。
另外，半十字环方式，用控制变换器进行速度控制和位置控制，马达轴以前的机械驱动系统位置发生偏
斜的话就不能正确地进行左右定位。
为了保证定位精度（高分辨率和精度），全十字环方式是最适合的。半十字环方式采用了球螺丝时，长球
螺丝的读间隔误差要在各轴进行修正。此值也需要作为参数保存，因此调整非常困难。
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5-2-2 Ｚ，θ轴的控制方式
Ｚ、θ轴马达控制采用板十字环方式。
Ｚθドライバ
（電流アンプ）
モーション
コントロール基板
（ＸＭＰ基板
JGRMB基板）
上位ホスト
コントローラ
（ＣＰＵ基板）
ＣＰＣＩバス
Zエンコーダ
θエンコーダ
Zシリアル指令
θシリアル指令
Z速度、位置フィードバック
θ電流フィードバック
Z電流フィードバック
θ速度、位置フィードバック
タイミングベルト
タイミングベルト
Zモータ
θモータ
ノズル
Z駆動Ｕ，Ｖ，Ｗ
θ駆動Ｕ，Ｖ，Ｗ
移動データ
θ分解能：０．０２５°
Z分解能：１．２５μｍ
上位主控
(CPU基板 )
移 动 数据
CPCI 母 线
Z速度, 位置供料器
Z分辨率
同 步 皮 带
Z马 达
Z变换器
驱动器
( 电 流放大器)
Z串行指令
Z电 流反馈
Z驱动
同 步 皮 带
电 流反馈
变换器
马 达
吸嘴
分辨率
速度, 位置反馈
串行指令
动 作控制基板
(XMP基板
JGRMB基板)
图５－２－２－１ ＭＮＬＡ贴装头用Ｚθ轴的控制方块图