CX-1_动作说明书.pdf - 第44页
R e v 2 . 0 0 动作说明书 3- 32 3-5-4-2 θ轴驱动速度·加速度·驱动时间 θ轴的速度·加速度在激光计测时/激光计测之外 /VCS 对中时各不相 同，有高速·中速·低速的区 分。 θ轴分辨率 分辨率 MNLA 头 0.01deg 9000pls×4 倍 FMLA 头 0.005deg 18000pls×4 倍 3-5-4-3 θ 轴动作速度·加速度 激光测定时的 θ 轴转速和加速度 高速 中速度 低速 角速度 (…
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动作说明书
3-
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3-5-4. θ轴的速度比
3-5-4-1 θ轴速度方式
θ轴按照下图的三角或台形驱动动作。
θ轴的最高速度和最高加速度如下。
MNLA FMLA
θ轴最高速度
500 1000 kpps
θ轴最高加速度
30000 60000 Kpps2
转动角: θ
最高角速度: ωmax
角加速度: β
Speed
Time
β
β
0 T1 T
ω
θ
<
β
ω
max
2
When the conditions shown to the
left are satisfied, the triangle drive is
made.
θ
-axis movement time calculation formula
In case of triangle drive
T
= 2
β
θ
时为三角驱动
速度
时间
Θ轴移动时间的计算式
三角驱动时
β
β
0 T1
T2 T
ω
max
Speed
Time
θ
-axis movement time calculation formula
In case of trapezoidal drive
T
=
+
β
ω
max
θ
≥
β
ω
max
2
When the conditions shown to the
left are satisfied, the trapezoidal drive
is made.
ω
max
θ
时为台形驱动
速度
时间
Θ轴移动时间的计算式
台形驱动时
转动角小或角加速度小时峰值角都有可能达不到最高速度。
此时的速度方式为图的三角驱动。
Speed
Time
β
ω
ω
β
0
T
ω
max
时间
速度
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3-5-4-2 θ轴驱动速度·加速度·驱动时间
θ轴的速度·加速度在激光计测时/激光计测之外/VCS 对中时各不相同，有高速·中速·低速的区
分。
θ轴分辨率
分辨率
MNLA 头 0.01deg 9000pls×4 倍
FMLA 头 0.005deg 18000pls×4 倍
3-5-4-3 θ轴动作速度·加速度
激光测定时的θ轴转速和加速度
高速 中速度 低速
角速度(kpps) 2250.0 1162.5 625.0
对高速比(%) 72.00 37.20 20.00
角加速度(kpps2) 93750.0 16612.5 4800.0
MNLA-HEAD
对高速比(%)
50.00 8.86 2.56
角速度(kpps) 720 372 200
对高速比(%) 72.00 37.20 20.00
角加速度(kpps2) 30000 5316 1536
LA 测定中
FMLA-HEAD
对高速比(%) 50.00 8.86 2.56
激光测定外的θ轴动作速度·加速度
高速 中速度 低速 超低速
角速度(kpps) 3125.0 1875.0 625.0 312.5
对高速比(%) 100 60 20 10
角加速度(kpps2) 187500.0 93750.0 3750.0 1875.0
MNLA-HEAD
对高速比(%)
100 50 2 1
角速度(kpps) 1000 600 200 100
对高速比(%) 100 60 20 10
角加速度(kpps2) 60000 30000 1200 600
LA 测定外
FMLA-HEAD
对高速比(%) 100 50 2 1
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中心VCS时θ轴动作速度·加速度
高速 中速度 低速 超低速
角速度(kpps) 1562.5 1562.5 625.0 312.5
对高速比(%) 50 50 20 10
角加速度(kpps2) 187500.0 93750.0 3750.0 1875.0
MNLA-HEAD
对高速比(%)
100 50 2 1
角速度(kpps) 500 500 200 100
对高速比(%) 50 50 20 10
角加速度(kpps2) 60000 30000 1200 600
VCS
FNLA-HEAD
对高速比(%) 100 50 2 1
(注)不吸附元件时的转速·加速度适用 LA 测定外。
3-5-4-4 轴其他动作 θ
原点复位的 θ 轴转速·加速度规定如下。
原点复位时的速度·加速度与护罩开放，护罩关闭无关。
角速度(kpps) 156.25
对高速比(%) 5
角加速度(kpps2) 9375
MNLA-HEAD
对高速比(%)
5
角速度(kpps) 200
对高速比(%) 20
角加速度(kpps2) 1200
原点复位
FMLA-HEAD
对高速比(%) 2
步骤移动时的 θ 轴转速·加速度规定如下。
步骤移动时的速度和加速度与护罩开放，护罩关闭无关。
高速 微速
移动角度(pls) 100 1
角速度(kpps) 781.25 312.5
对高速比(%) 25 10
角加速度(kpps2) 46875 28125
MNLA-HEAD
对高速比(%)
25 15
角速度(kpps) 250 100
对高速比(%) 25 10
角加速度(kpps2) 15000 9000
步骤
FMLA-HEAD
对高速比(%) 25 15