CX-1_动作说明书.pdf - 第24页
R e v 2 . 0 0 动作说明书 3- 12 3) 传送速度 高速、 BU 台上升速度 低速 100ms 100ms 100ms 1650ms 480ms (0.7mm) (0.1mm + 22.9mm) 770ms 400ms (20mm) 14mm/s 400mm/s WAIT传感器 STOP传感器 中心马达 中心止动器 外形基准(X推 进) 外形基准(Y推 进) 预备传送（距离 43.7m m） XY轴 动作时间 430ms…
Rev 2.00
动作说明书
3-
11
3-2-3 基板传送同步时间图
基板传送时间图例示。
1) 传送速度 高速、BU 台上升速度 高速
IN传感器
100ms
100ms
100ms
400ms
400ms
(20mm) (1.5mm + 19.3 mm) (2.8mm)
56mm/s400mm/s
WAIT传感器
STOP传感器
中心马达
中心止动器
外形基准(X推进)
外形基准(Y推进)
预备传送（距离 43.85mm）
XY轴
动作时间 430ms
向生产开始位置移动
IN马达
动作时间 600ms
后备板马达
动作时间 200ms
2) 传送速度 高速、BU 台上升速度 中速
100ms
100ms
100ms
400ms
400ms
(20mm) (1.5mm + 19.3 mm) (2.8mm)
56mm/s
360ms
400mm/s
WAIT传感器
STOP传感器
中心马达
中心止动器
外形基准(X推进)
外形基准(Y推进)
预备传送（距离 43.85mm）
XY轴
动作时间 430ms
向生产开始位置移动
IN马达
动作时间 960ms
后备板马达
IN传感器
动作时间 200ms
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3-
12
3) 传送速度 高速、BU 台上升速度 低速
100ms
100ms
100ms
1650ms
480ms
(0.7mm)
(0.1mm + 22.9mm)
770ms
400ms
(20mm)
14mm/s
400mm/s
WAIT传感器
STOP传感器
中心马达
中心止动器
外形基准(X推进)
外形基准(Y推进)
预备传送（距离 43.7mm）
XY轴
动作时间
430ms
向生产开始位置移动
IN马达
动作时间
1080ms
后备板马达
IN传感器
动作时间
200ms
4) 传送速度 高速、BU 台上升速度 超低速
100ms
100ms 100ms
1650ms
1560ms
(0.7mm)(0.1mm + 22.9mm)
770ms
400ms
(20mm)
14mm/s
400mm/s
WAIT传感器
STOP传感器
中心马达
中心止动器
外形基准(X推进)
外形基准(Y推进)
预备传送（距离 43.7mm）
XY轴
动作时间
430ms
向生产开始位置移动
IN马达
动作时间
2160ms
后备板马达
IN传感器
动作时间
200ms
Rev 2.00
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3-
13
3-3 吸嘴更换动作
3-3-1 有θ修正时
ﾉｽﾞﾙ返却動作
（θ補正有）
ﾉｽﾞﾙ装着動作（θ
補正有無共通）
1 1
2 2
3 3
4 4
5ms5
6 6ms
7 7
8 8ｽﾗｲﾄﾞ
ﾌﾟﾚｰﾄ
9 9Open
ｾﾝｻ
ms
10 10
11 11
12 ms 12 ms
13 13
14 ms 14
15 ms 15
16 16
17 17
18 18
19 19
20
21
6
7
ｽﾗｲﾄﾞﾌﾟﾚｰﾄ移動高さへ
移動（開始～完了）
Off
ﾉｽﾞﾙNo
ﾁｪｯｸ
ﾉｽﾞﾙ装着
ﾁｪｯｸ
Wait D 20
Wait A 100
ﾉｽﾞﾙ有無
ﾁｪｯｸ
Wait C 50
ﾉｽﾞﾙ有無
ﾁｪｯｸ
ﾚｰｻ
ﾞ
Once
ﾉｽﾞﾙ有無
ﾁｪｯｸ
Wait C 50
100
ﾉｽﾞﾙ回転
ﾁｪｯｸ
項目
動作
備考
ﾉｽﾞﾙ装着位置
へ移動（開始）
項目
動作
備考
ﾚｰｻ
ﾞ
Z軸
ﾚｰｻ
ﾞ
Z軸
Blow
Z軸
Blow
Z軸
ｽﾗｲﾄﾞ
ﾌﾟﾚｰﾄ
XY
Z軸
Z軸
Vacｾﾝｻ
Vac
XY
ﾚｰｻ
ﾞ
Z軸
XY
ﾚｰｻﾞ計測高さ（No
）へ移動（完了）
Close（
開始）
Once
ﾚｰｻﾞ計測高さ（装着）へ
移動（開始～完了）
Once
XY移動高さへ移動
（開始～完了）
吸着位置へ移動
（開始～完了）
On
ﾉｽﾞﾙ
詰まり
ﾁｪｯｸ
Off
On
ﾚｰｻﾞ計測高さ（No
）へ移動（開始）
Off
ﾉｽﾞﾙ装着位置
へ移動（完了）
交換高さへ移動（開始～
完了） （2段階制御）
ｽﾗｲﾄﾞﾌﾟﾚｰﾄ移動高さへ
移動（開始～完了）
Open（
開始）
XY移動高さへ移動
（開始～完了）
Once
ﾚｰｻﾞ計測高さ（有無）へ
移動（開始～完了）
Once
On
Close（
開始）
On
交換高さへ移動
（開始～完了）
ﾚｰｻﾞ計測高さ（有無）へ
移動（開始～完了）
Blow
ﾉｽﾞﾙ返却位置
へ移動（開始）
ﾌﾟﾘﾛｰﾄ
ﾞ
Open（
開始）
On
ﾉｽﾞﾙ返却位置
へ移動（完了）
ﾚｰｻﾞ計測高さ（回転）へ
移動（開始～完了）
Sweep
返却角度に回転
（開始～完了）
Z軸
Z軸
ﾚｰｻ
ﾞ
Z軸
Z軸
Blow
ｽﾗｲﾄﾞ
ﾌﾟﾚｰﾄ
Close
ｾﾝｻ
XY
Z軸
ﾚｰｻ
ﾞ
θ
軸
XY
θ
ｽﾗｲﾄﾞ
ﾌﾟﾚｰﾄ
Open
ｾﾝｻ
Z軸
ｽﾗｲﾄ
ﾞ
ﾌﾟﾚｰﾄ
Open
4
12
D
14
211
ﾚｰｻﾞ計測高さ（有無）へ
移動（開始～完了）
Vac On
9
A
停止
ﾚｰｻ
ﾞ
計測
9
168
17 19
Vacuum
ｾﾝｻ
検知
非検知
19
12
D
Blow
On
Off
Vacuum
On
Off
14
B
Clo
se
ｾﾝｻ
On
Off
Open
ｾﾝｻ
On
5
A
Off
13
Close
非計測
8
XY
移動
1
停止
移動
停止
回転
非検知
Off
On
Off
検知
10
Z
移動
3
停止
11 15 C
停止
16
θ
ﾚｰｻ
ﾞ
Vacuum
ｾﾝｻ
Close
On
Off
On
Off
On
Blow
Close
ｾﾝｻ
Vacuum
Open
ｾﾝｻ
XY
Z
計測
非計測
Open
停止
移動
4
5
1
ｽﾗｲﾄ
ﾞ
ﾌﾟﾚｰﾄ
6C7 13
21
θ
回転
210
3 151820
ﾉｽﾞﾙ装着動作（θ補正有無共通）
ﾉｽﾞﾙ返却動作（θ補正有）
Wait A 100
Wait B
18
17
Wait D 20
移 动
停止
移 动
停止
移 动
停止
移 动
停止
转动
停止
转动
停止
测 定
非 测定
测 定
非 测定
激光激光
滑 动板滑 动板
传 感器
传 感器
传 感器
传 感器
传 感器传 感器
测 定
非 测定
测 定
非 测定
吸嘴退回动作( 有θ 修正)
吸嘴安装动作( 有无 θ 修正共同)
吸嘴安装动 作 ( 有无θ 修正共同)吸嘴退回动 作 ( 有 θ 修正)
备 考 备 考动 作动 作项 目
轴 轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
滑板
滑板
滑板
滑板
激光
激光
激光
激光
激光
激光
传感器
传感器
传感器
传感器
向吸嘴安装位置移动 ( 开 始 )向吸嘴退回位置移动 ( 开 始 )
向吸嘴退回位置移动 ( 完了)
向吸嘴安装位置移动 ( 完了)
向激光测 定高度( 有无) 移 动( 开 始～完了)向激光测 定高度( 有无) 移 动( 开 始～完了)
预载
( 开 始)
向激光测 定高度( 转动) 移 动( 开 始～完了)
向退回角度转动( 开 始～完了)
向滑板移动 高度移动( 开 始～完了)
( 开 始)
向激光测 定高度( 有无) 移 动( 开 始～完了)
向 XY移动 高度移动 ( 开 始～完了)
检查有无吸嘴
检查吸嘴转动
检查有无吸嘴
向更换 高度移动 ( 开 始～完了)(2级 控制)
向滑板移动 高度移动 ( 开 始～完了)
( 开 始 )
检查吸嘴堵塞
向激光测 定高度（No ）移动 ( 开 始 )
向激光测 定高度（No ）移动 ( 完了)
向激光测 定高度( 安装) 移动 ( 开 始～完了)
向吸附位置移动 ( 开 始～完了)
向 XY移 动 高度移动 ( 开 始～完了)
( 开 始 )
检查吸嘴安装
检查吸嘴No
检查有无吸嘴
项 目
向更换 高度移动 ( 开 始～完了)