CX-1_动作说明书.pdf - 第17页
R e v 2 . 0 0 动作说明书 3- 5 3-2 基板传送 1． ＩＮ 马达 （ 步进马达 ） 2． ＣＥＮＴＥＲ 马达 （ 步进马达 ） 3． ＯＵＴ 马达 （ 步进马达 ） 4． ＩＮ 传感器 5． ＷＡＩＴ 传感器 6． ＳＴＯＰ 传感器 7． Ｃ・ＯＵＴ 传感器 8． ＯＵＴ 传感器 9． 止动器 10．Ｘ 推进器 11. Ｙ 推进器 12. ＢＵ 马达 （ 步进马达 ） 13. ＢＵ 原点传感器 Ａ １ １ ３ ３ ２…
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3-1-4 后备板的原点复位
向机台上方凸凹移动
（传感器Off方向)
向机台下方向Step移动
（传感器On方向）
on
START
原点传感器
原点传感器ＯＮ
检测零相
END
off
on
on
off
殊霞
向机台下方向凸凹移动
（传感器On方向）
原点传感器ＯＮ
off
检测
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3-2 基板传送
1． ＩＮ马达（步进马达）
2． ＣＥＮＴＥＲ马达（步进马达）
3． ＯＵＴ马达（步进马达）
4． ＩＮ传感器
5． ＷＡＩＴ传感器
6． ＳＴＯＰ传感器
7． Ｃ・ＯＵＴ传感器
8． ＯＵＴ传感器
9． 止动器
10．Ｘ推进器
11. Ｙ推进器
12. ＢＵ马达（步进马达）
13. ＢＵ原点传感器
Ａ
１
１
３
３２
２
４
５ ６ ９ ７ ８
１０
１１
１３
１２
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异常种类 内容
ＩＮ缓冲异常 1) ＩＮ马达ＯＮ后，ＩＮ传感器 3 秒以上ＯＮ。
2）IN 马达转动时，IN 传感器和 WAIT 传感器同时变为 ON。
3) IN 传感器 ON，从 IN 马达开始转动起 6 秒钟之后，WAIT 传感器也不 ON。
（有关时间，由机械控制参数决定）
4) 从 IN 缓冲向入口侧中心站过度经 6 秒之后也不结束。
（有关时间，由机械控制参数决定）
入口侧中心站异常 1) 入口侧中心马达连续转动 6 秒钟以上。
2) 入口侧 C･OUT 传感器 ON，入口侧 STOP 传感器 OFF->ON。
3) 从入口侧中心站向出口侧中心站过度经 6 秒之后也不结束。
（有关时间，由机械控制参数决定）
ＯＵＴ缓冲异常 1) OUT 马达连续 6 秒钟以上连续转动。
2) 出口侧 C･OUT 传感器和 OUT 传感器通知变为 ON。
3) 从 ReadyIN（ON）信号检测向后续工程过度经 6 秒之后也不结束。
（有关时间，由机械控制参数决定）
后备异常 1) 后备马达上升结束时，T･PIN 传感器 ON（孔基准时）。
其他 1) 中心马达动作异常(由 XMP 决定)
2) 后备马达动作异常（由 XMP 决定）