CX-1_动作说明书.pdf - 第20页
R e v 2 . 0 0 动作说明书 3- 8 3-2-2 ＢＵ 机台 3-2-2-1 Ｂ Ｕ 机台、机械控制以及有效行程 基板上面高度 0.5mm 5mm 有效行程 52.5mm MS 参数输入 ２ mm 7mm 40mm ( 最大 ) 最大基板下限制 字亠佩殻 59mm ④ 原点高度位置 Ｂ ( 原点传感器 ON 方向 ) Ａ ( 原点传感器 OFF 方向 ) 变换器检测零相 ③ 软下方限制位置 ① 机械下方限制位置 ② 字亠貧圭…
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3-2-1 传送马达
传送方向在箭头状态（左→右传送），马达转动方向为ＣＣＷ。
速度分布图以三角驱动(台形驱动)来进行的。
（XMP没有被称为脉冲待发的控制，因此不能驱动指定脉冲率。）
速度的区分有高速·中速·低速 3 级，以及在夹紧基板及再次夹紧时使用的预备送料 1·预备送料 2。
并且，高速可以根据 MS 参数的设定切换到 400mm/s 或 300mm/s。
分辨率为 252μm/脉冲，各速度分类值如下表所示。
最高速度 最高加速度 最高减速度
(mm/s) (pps) (mm/s
2
) (pps
2
) ( mm/s
2
) (pps
2
)
高速 400 1,587 1008.0 4,000 1008.0 4,000
高速 300 1,190 1008.0 4,000 1008.0 4,000
中速 200 794 1008.0 4,000 1008.0 4,000
低速 100 397 1008.0 4,000 1008.0 4,000
预备送料1 56 222 1008.0 4,000 1008.0 4,000
预备送料2 14 55 1008.0 4,000 1008.0 4,000
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3-2-2 ＢＵ机台
3-2-2-1 ＢＵ机台、机械控制以及有效行程
基板上面高度
0.5mm
5mm
有效行程 52.5mm
MS 参数输入
２ mm
7mm
40mm(最大)
最大基板下限制
字亠佩殻
59mm
④原点高度位置
Ｂ
(
原点传感器
ON
方向
)
Ａ
(
原点传感器
OFF
方向
)
变换器检测零相
③软下方限制位置
①机械下方限制位置
②
字亠貧圭㏍㍉崙了崔
①：
下方向的机械限制高度
②：
上方向的机械限制高度
③：
在有效行程下限位置，是基板送入、送出时的待机位置。
有效行程上限位置从③的高度上升52.5ｍｍ上升位置、与②高度相同。
有效行程∶生产中可以驱动的行程范围
（注） 基板下限制可以在从5mm起40mm的范围，以１mm单位进行设定。
违反的基板下限制为40ｍｍ。
（注） ③的有效行程下限高度，根据基板下限而变化。
因此，有效行程也按下式变化。
有效行程(mm) ＝基板下限(mm)＋5＋7＋0.5
基板送入·送出时的待机高度也同样变化。
以有效行程上限为基准高度
待机高度(mm)＝基板下限(mm)＋5＋7
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3-2-2-2. BU 台、机械行程以及有效行程(追加)
在 CX-1 中，BU 台的上升/下降速度可以从高速·中速·低速·超低速中选择。当 BU 台的上升速度被设定
为低速·超低速的情况下，夹紧的预备送料动作也自动变为超低速(16mm/s)。
其次，控制方法是，在上升时为时间固定，下降时为加速度固定。
各速度区分中的速度变化情况如下表。
最高速度 加速度/减速度
速度 行程 方式 移动时间
(mm/s) (pps) (mm/s2) (pps2)
5 加速度固定 － 16.675 667 56.0 2222
50 时间固定 600 166.675 6667 556.0 22222
高速
－ 梯形驱动 － 166.675 6667 556.0 22222
5 加速度固定 － 10.425 417 22.0 869
50 时间固定 960 104.175 4167 217.0 8681
中速
－ 梯形驱动 － 104.175 4167 217.0 8681
5 加速度固定 － 9.250 370 17.0 686
50 时间固定 1080 92.575 3703 171.0 6859
低速
－ 梯形驱动 － 92.575 3703 171.0 6859
5 加速度固定 － 4.628 185 4.285 171
50 时间固定 2160 46.287 1852 42.85 1714
超低速
－ 梯形驱动 － 46.287 1852 42.85 1714
夹紧基板时的顺序如下图所示。
速度
減速時間
減速距離
予備送り速度
予備送り距離
減速停止時間予備送り時間1
BUテーブル上昇時間
BUテーブル
上昇待ち時間
基板クランプ時間
予備送り時間2
STOP
速度
预备送料时间 1 减速停止时间
减速距离
减速时间
预备送料速度
预备送料距离
预备送料时间 2
BU 台上升时间
基板夹紧时间
BU 台等待上升时间