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1 - 32 S tudent Guide SIPLACE HF/HF3 5 Portal Ausgabe 09/2005 32 Abb. 5.5 - 7 Signalverlauf bei 50000 digit Y -Achse C&P Kopf oben, T win Kopf unten Legende 5 3 2 1 (1) S tart der Achsen (2) T win erreicht Sollpos. 3…
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Ausgabe 09/2005 5 Portal
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5.5.3.1 Meßaufbau
Hinweis
Der Meßaufbau erfolgt analog zum Meßaufbau der X-Achse.
Abb. 5.5 - 6 Signalverlauf bei 15000 digit Y-Achse C&P Kopf oben, Twin Kopf unten
Legende 5
Hinweis
Die erlaubte Positionsabweichung beim C&P Kopf beträgt 10µm und beim Twin Kopf 5µm.
3
2
1
(1) Start der Achsen (2) Twin-Kopf erreicht Sollposition um 10ms später
(3) Überschwingung kleiner als erlaubte Positionsabweich. beim Twin-Kopf--> Endesignal nur kurz verzögert.
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Ausgabe 09/2005 Inhalt
1
Kapitel
Inhaltsverzeichnis
6 Collect&Place-Kopf / DLM2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
6.1 Übersicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
6.1.1 Technische Daten 6/12 DLM2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
6.1.1.1 Technische Daten 6 Segment / 12 Segment C&P Köpfe. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
6.1.1.2 Kameramodularität am Beispiel 6er Kopf. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
6.1.2 Arbeitsschritte beim Abholen und Bestücken von Bauelementen . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
6.1.3 Lage und Funktion der einzelnen Sternstationen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
6.1.4 Teileübersicht am 12 Segment C&P Kopf . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
6.1.5 Druckluftversorgung DLM 2 C&P Kopf. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
6.1.5.1 Vakuumerzeuger DLM 2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
6.1.6 Übersicht Blasluftversorgung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
6.1.7 Übersicht Vakuumversorgung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
6.2 Referenzlauf . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
6.2.1 Referenzlauf C&P-Kopf . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
6.2.2 Initialisierung des Ventilstellantriebs Abhol-/Bestück- und Abwurfposition. . . . . . . . . . 19
6.2.3 Initialisierung Ventilstellantrieb in der Abwurfposition. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
6.2.4 Initialisierung des Ventilstellantriebs an der DP-Station. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
6.2.5 Vorbereitung des Referenzlaufs der Z-Achse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
6.2.6 Referenzlauf an der Stern-Achse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
6.2.7 Beendigung des Z-Achsen-Referenzlaufs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
6.2.8 Referenzlauf an der DP-Achse. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
6.2.9 Ablauf Vakuumcheck . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
6.2.10 Feststellung der Vakuumwerte und Grenzwerte . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
6.2.11 Messung Pipettenlänge für die BE-Erkennung durch die BE-Sensor-Option. . . . . . . 27
6.2.12 Höhenreferenzlauf . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28