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1 - 8 S tudent Guide SIPLACE HF/HF3 7 T win Head Ausgabe 09/2005 8 7.2.1 R eferenzlauf an der Z-Achse Abb. 7.2 - 2 Referenzlauf Z-Achse (1) Bero Z-Achse oben (nicht benutzt / ent fällt seit 06.2004) (2) Inkremental-Maßst…
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Ausgabe 09/2005 7 Twin Head
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7.2 Referenzlauf Twin Head
Der Twin Head besteht aus zwei Segmenten mit den beiden Achsen Z und D sowie den X- und
Y-Achsen des Portals.
Vor dem Start des Referenzlaufs fährt der Rückholzylinder in die untere Ausgangsposition (home
pos.). Bei beiden Modulen ist das Vakuum an bis der Vakuumerzeuger initialisiert ist.
Abb. 7.2 - 1 Twin Head Z-,D-Achse
(1) Inkrementalgeber Z-Achse
(2) Linearer Inkremental-Maßstab der Z-Achse
(3) Inkrementalgeber mit Inkremental-Glasmaßstab D-Achse
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7.2.1 Referenzlauf an der Z-Achse
Abb. 7.2 - 2 Referenzlauf Z-Achse
(1) Bero Z-Achse oben (nicht benutzt / entfällt seit 06.2004)
(2) Inkremental-Maßstab montiert auf beweglichem Teil der Z-Achse
(3) Fest installierter Inkrementalgeber
(4) Nullimpuls auf Inkremental-Maßstab (nur einer an der Z-Achse)
– Suche der Z-Achse nach dem Kommutierungspunkt des Linearmotors in einem für die Z-
Achse speziellen Betriebsart. (Ein 3~ AC-motor fährt immer weiter wenn der Strom von einer
Phase auf die nächste geschaltet wird und zwar zum richtigen Zeitpunkt und in der richtigen
Folge).
– Dann fährt die Z - Achse bis zum Nullimpuls nach oben und lädt die Nullpunktkorrektur.
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7.2.2 Referenzlauf an der D-Achse
Abb. 7.2 - 3 Referenzlauf D-Achse
(1) Inkremental-Glasmaßstab D-Achse
(2) Inkrementalgeber
(3) Nullimpuls am Inkremental-Glasmaßstab
Dann führt die D-Achse (drehende Achse) den Referenzlauf durch.
Die D-Achse fährt zum Nullimpuls des D-Achsen-Inkrementalgebers. Die Nullpunktkorrektur wird
geladen. Abhängig von der Polarität fährt die D-Achse zur Referenzposition.
Referenzlauf Twin Head beendet!
Es folgt der Portalreferenzlauf siehe Kapitel Portal.
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