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4-4 4 3. 기 판의 선 택 미 리 작성 되 어 있 는 기 판데 이 터 리 스트로 부터 , 생산할 기판을 선 택 합니 다 . 1 기판데이터를 선택합니다 . 1 . 기 판 데 이터 가 미 선 택 인 경우에 는 셋업 화면 의 [ 기판선 택 ] 버 튼 을 눌러서 , 등록되 어 있 는 기판데 이 터 를 표 시합 니다 . 2. 생 산할 기 판 데 이 터 명 에 커서 를 맞춰서 , [ 선 택 ] 버…

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[ 시작 ] 버튼을 눌러서 워밍업 전을 시작합니다 .
「진상태」에 밍업과시간이 표시 .
워밍업 운전화면
워밍업 경과시간
도중에 정지할 경우
여기를 누른다
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c
주의
업 중에 이상이 발생하면 [ 정지 ] 튼을 누르고 운전을 정해 주십시 . 원인을 제거한 후 [ 시작 ] 으로 워을 재실
행 해 주십시 .
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워밍업을 료합 .
Step3 에서 설정시간이 장비동적으로 운전을 종료합니 .(도중에고자 때는
[ ] 튼을 눌러 주십 .) 워후는 [ ] 튼을 누르고 이전 화면으로 돌아갑니 .
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3. 판의
작성판데스트로부터 , 생산할 기판을 합니 .
1
기판데이터를 선택합니다 .
1. 이터경우에셋업화면[ 기판선 ] 눌러서 , 등록되기판데
시합니다 .
2. 산할 커서맞춰서 , [ ] 튼을 르면 선택이터딩됩 .
[기판선택] 버튼
기판의 선택
등록되어 있는 기판데이터 리스트에서 선택
선택된 기판명이
표시된다
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2
선택한 기판데이터를 확인합니다 .
스테이터판명표시되어 있는확인해 주십 .
, 표시 , 마스크 , 스퀴타입올바른지 확주십시 .
기판 선택후의 셋업화면
선택된 기판명
기판 사이즈
스퀴지 종류
마스크 사이즈
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4. 컨베이유니트셋업전
다른 산할 , 베이유니트의 셋업환이 합니 .(전같은 판을 생산 ,
주십시 .)
c
주의
의 기판다 폭이 좁은 기판으로 변경할 경우에 , 푸업 플레트상의 백업 핀(또는 , 면 받침 지을 미리 탈착시켜 두
십시오 .
1
셋업 면의「셋업」탭을 택합니다 .
유니트의 업전환은 화면에설정합니 .
셋업 화면
「셋업」탭
5
[기판반입] 버튼
2�
[셋업전환 위치이동] 버튼
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2
[ 셋업전환 위치이 ] 버튼누릅니다 .
택해 주십 .
1. 백업 핀을 배치우는 ,「반송위치 확인」을 선택합니 . 동해폭이
사이즈에 응해자동으로 경됩 .
2. 플레트채업전환할 우는 ,「백업유닛 」을 합니 . 업위동해
으로 되므로 , 매트플레이트탈착할 습니 .
n
요점
스 플를 탈할 경우는 , 안을 확인고 양손으로 단히 잡서 똑로 탈착해 주 .
「셋업위치 이동」대화창
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