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6-19 6 ■ 「이력」화면에 표 시되는 항 목에 대 해 서 「 로 그 」 ,「 생 산 」 ,「 로 트 」탭 각 탭에 표시되 는 항목 의 내 용은 , 화면 오른쪽 아 래에 있는 [ 옵 션 ] 버 튼을 눌러서 참 조 할 수 있 습니 다 . [ 옵 션 ] 버튼 을 누 르면 , 「 그리 드 표시 설 정」화면 이 표시 됩 니 다 . 화면 좌 측의 항목을 선택 하면 , 화면 우 측에 선 택 한 항목의…

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3.
관리 능을 사용하면 , 중의 각종 산정보와 발생수집 , , 표시
습니 . , 가동 상황이산이력의 수집 , 나아용한 자수집 스템
습니 .
3.1 대해서
, 산이작이, 사용상황을 관리.
, 로그 카운하는2.
3.1.1 이력
[ ] , 「로그」,「생」,「로트」탭으로 , 확인
.
이력
「로그」탭의 예
6862 4 -N1- 0 0
로그
장비에발생한 에러각종 작업내용이 표시 .
1 에러 또는 1 행의 이터되어 습니 . 최대 1000 표시 .
생산
장비에생산한 , 기판 1 장당의 생산표시됩니다 .
1 장의 판에 대해 1 행의 터로 되어 습니 . 최대 1000 표시 .
로트
생산기판 환을 후에 , 다음 판의 전환을 실행때까1 로트로 간주 , 이의 생산결과를 집계
보가 표시됩 .
1 로트에 해서 1 행의 터로 되어 습니 . 최대 1000 표시 .
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「이력」화면에 시되는 목에
로 그 ,「 ,「 로 트 」탭
탭에 표시되항목용은 , 화면 오른쪽 아래에 있는 [ ] 튼을 눌러서 습니 .
[ ] 버튼르면 ,그리표시 정」화면표시 .
화면 측의 항목을 선택하면 , 화면 측에 항목의 내용이 표시 .
항목 내용의 표시
「이력」-「생산」탭의 예
항목을 선택
선택된 내용의 항목을 표시
68625-N1-0 0
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3.1.2 2
[ 2] ,」,」,스크」,「클으로 나뉘 ,
용상황을 .
참고
의 탭, 사용가 임로 리트 가능한 데, 메용 및 전누적 데의 3 종류가 표 .
이력2
「컨베이어」-「사용자」탭의 예
68626 -N1- 0 0
컨베이어
출구 스톱퍼 , 플랩 , 클램 , 판흡착 , 푸쉬업 컨베이어 유니트의 동작표시 .
동작 , 사용한 목적에 따라 ,사용자」,「메인터」,「전체누적」탭으로 나뉘어표시됩 .사용자
「메인터탭의 이력 데이리셋수 있으 ,전체리셋습니 .
계측 시작일시
측을 작한 일시입니 .
동작횟수
대상 기기구동횟수를 나타 .
에러횟수
대상 기기 구동에러방생수를 나타 .
에러율 (%)
동작 에러 / 동작횟 X 100(%)
에러율 (%)
탭의 동작 합계 / 동작횟 X 100(%)
스퀴지
스퀴우레스퀴등의 사용상황표시 . 스퀴타입 , 트되며 , 스퀴지의 경우
, 스퀴지 1 스퀴 2 각각 개별카운됩니 . 스퀴타입은 , 「스퀴」탭 내의 좌상단의 드롭다운
스트에있습 . 표시항목용과 버튼능은어」탭같습니 .
마스크
마스크 클램프와 마스크 흡착동작이력마스크 용횟수가 표시됩 . 마스사용수는 마스크명으로 표시
, 동일마스크 명칭으로 기판을 생산하있을 우는 , 기판 터가 달라도 하나의 마스으로 됩니 .
표시되는 각 항목의 튼의 능은 ,이어」탭같습니 .
클리너
모터의 동작이력표시됩 .
표시되는 각 항목의 튼의 능은「컨베이어」탭과 같습니다 .