YCP10_Users_K.pdf - 第145页
5-14 5 3. 피듀셜 위치 피 듀셜 마크의 위치 를 기 판과 마스 크 를 공통 으로 할지 개별 적 으로 설정 할 지 를 지정 할 수 있습니 다 . [ 편 집 ] 버 튼을 누 르 면 전 페 이 지와 같은 설정 대화창 이 표시되 므로 , 선택 해 주십시 오 . 「기판 & 마 스크 개 별 지정 」으로 한 경 우는 피 듀셜 마크 위 치 , 피 듀셜 타입 및 기준위 치가 기판 과 마스크 개…
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4. 마스크 데이터의 설정
[ 인쇄 ]-「마스크」탭 화면에서 다음과 같이 설정항목의 확인과 편집을 합니다 .
4.1 마스크 마크와 파라미터의 설정
[인쇄] ー「마스크」탭 화면
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[편집] 버튼
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1. 마스크 피듀셜
위치 맞춤용 피듀셜 마크를 사용할 때는「매회 인식」이나「첫 회만 인식」으로 , 사용하지 않을 때는「미사용」으로 설정
합니다 . 「매회 인식」을 선택하면 기판이 반입될 때마다 마크인식을 합니다 .「첫 회만 인식」을 선택하면 처음에 반입된
기판에서만 마크인식을 합니다 . 우측의 [ 편집 ] 버튼을 누르면 아래의 설정 대화창이 표시되므로 , 선택해 주십시오 .
마스크 피듀셜 설정 대화창
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2. 피듀셜 타입
「마스크 피듀셜」을 「매회 인식」이나 「첫 회만 인식」으로 설정하면 이「피듀셜 타입」（사용할 마크 수） 「1 포인트」~「4
포인트」중에서 선택해 주십시오 . 각 마크의 형상은 달라도 됩니다 . 우측의 [ 편집 ] 버튼을 누르면 , 상기와 같은 설정대화
창이 표시되므로 , 선택해 주십시오 .
마스크 피듀셜 타입
마스크 원점
마스크 기준위치
마크1
(-X, Y)
마크2
(X, Y)
+X
+Y
2포인트의 예
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3. 피듀셜 위치
피듀셜 마크의 위치를 기판과 마스크를 공통으로 할지 개별적으로 설정할지를 지정할 수 있습니다 . [ 편집 ] 버튼을 누르면
전 페이지와 같은 설정 대화창이 표시되므로 , 선택해 주십시오 . 「기판 & 마스크 개별지정」으로 한 경우는 피듀셜 마크위
치 , 피듀셜 타입 및 기준위치가 기판과 마스크 개별적으로 지정할 수 있습니다 .
「기판 & 마스크 공통지정」으로 한 경우는 피듀셜 마크위치 , 피듀셜 타입 및 기준위치가 기판과 마스크 공통지정이 됩니다 .
이 설정으로 변경하면 확인 메시지가 표시됩니다 .
[OK] 버튼을 누르면 마스크 피듀셜에서 기판 피듀셜로 피듀셜 마크위치 , 피듀셜타입 , 기준위치의 파라미터가 복사됩니다 .
● 기판과 마스크의 위치맞춤
기판과 마스크의 양쪽에 마크가 있을 경우 , 위치맞춤을 하는 방법으로 다음의 2 가지 설정방법이 있습니다 .
마스크 마크
■ 기판・마스크 위치가 동일 좌표상
■ 기판・마스크 위치가 다른 좌표상
기판마크
기판과 마스크의 마크위치
기판과 마스크 각각에 대해 이론적인
마크위치에서의 틀어진 양을 화상처리로
검출하고, 기판과 마스크 각각에 대응하는
마크가 일치되게 위치를 결정합니다.
기판과 마스크 각각에 대해 이론적인
마크위치에서의 틀어진 양을 화상처리로
검출하고, 기판중앙과 마스크중앙이 일치되게
위치를 결정합니다. 각도방향의 위치결정은
2점의 마크를 연결한 선이 마크의 이론위치를
연결한 선과 일치되도록, 그것을 기판과 마스크
양쪽에 대해 보정합니다
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요점
피듀셜 위치 , 피듀셜 타입 및 기준위치를 기판 혹은 마스크중에서 어느 한쪽을 편집하거나, 티칭에서 변경한 경우는 그 변경 내용
이 다른 한쪽에도 자동적으로 반영됩니다 .
4. X, Y （mm）
마스크 피듀셜 마크의 마스크 원점에서의 X Y 좌표（ｍｍ）를 입력합니다 . [ 티칭 ] 버튼으로 티칭 입력할 수도 있습니다 .
참고
티칭의 자세한 내용에 대해서는 제 7 장「1. 티칭과 트레이스」를 참조해 주십시오 .
5. 마크 No.
피듀셜에 사용하는 마크번호 （미리 마크화면에서 등록） 를 입력합니다 .
6. 명칭
「마크 No.」를 입력하면 그 마크의 명칭（미리 마크화면에서 등록）이 자동적으로 표시됩니다 .
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7. 마스크 파라미터
마스크 파라미터
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A. 마스크 명칭
마스크의 명칭을 입력합니다 .
B. 마스크 사이즈
마스크 프레임의 사이즈（L × W）를 설정합니다 .
C. 제판기준
마스크를 제판했을 때의 기준위치를 지정합니다 .
본 장비의 경우는 「중앙」 또는「앞쪽」제판기준에서 선택합니다 .
제판기준
제판기준 위치
제판기준:중앙 앞쪽
기판 마스크 프레임
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D, E. 제판 기준옵셋 X, Y
마스크의 제판기준이 , 마스크「중앙」「앞쪽」의 기준위치에서 크게 벗어나서 마크인식이 안될 경우 , 그 옵셋량을 설정합
니다 .
제판기준 옵셋 X, Y(제판기준「중앙」의 예)
마스크 중앙
X-
X+
-Y
+Y
제판기준
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