YCP10_Users_K.pdf - 第160页
5-29 5 ● 시간 관리 의 상세설정 [ 인쇄 ] - 「클리 너」- [ 시간관리 ] 항목의 「 클리 닝 방법」 을 「자 동 」 으로 하고 , 「자동클리 닝 타입」 은 「 상 세」 로 , 클리 닝 을 실 행 하 는 시 간 간 격 을 「간 격 ( 분 ) 」 에 입 력 합니다 . 그 후 , [ 상세설 정 ] 버튼 을 눌러서 , 「 클리 닝 상세 설정 」 화면의 「 시 간관리」 탭내 의 「클리 닝…
5-28
5
● 시간 관리
대기상태인 경우에도 일정한 시간간격으로 마스크 클리닝을 하고자 할 때 설정합니다 .
예를 들어「클리닝 방법」을「자동」,「간격」을「10（분）」으로 설정하면 , 마지막에 인쇄 또는 클리닝 한 시점에서 10 분
후에 자동적으로 클리닝을 실행합니다 .
A. 클리닝 방법
마스크의 클리닝 방법을「자동」「수동」「미실행」중에서 선택합니다 .「자동」을 선택하면 설정한 조건에 따라 자동적으
로 클리닝이 실행됩니다 .
B. 자동 클리닝 타입
「습식」또는「건식」에서 선택합니다 .
C. 간격 ( 분）
자동 클리닝을 할 때의 시간간격 ( 분 ) 을 설정합니다 .
D. 반복 ( 회）
자동 클리닝을 할 때의 왕복 횟수를 설정합니다 .
e. 스피드 (mm/sec）
자동 클리닝시에 클리너 유니트가 마스크 아랫면을 이동하는 속도를 설정합니다 .
참고
장비가 리세트 상태 또는 [STOP] 버튼에 의한 정지중에도 시간관리가 실행됩니다만 , 운전의 재개상태에 따라 클리닝의 타이밍이 다
릅니다 .
F. 편 도 / 왕복
건식 자동 클리닝을 실행할 때에「편도」클리닝을 할 것인지 ,「왕복」클리닝을 할 것인지를 선택합니다 .
거즈 롤을 소비를 줄이고 싶을 경우는 ,「편도」를 선택해 주십시오 .
5-29
5
● 시간관리의 상세설정
[ 인쇄 ]-「클리너」-[ 시간관리 ] 항목의「클리닝 방법」을「자동」으로 하고 ,「자동클리닝 타입」은「상세」로 , 클리닝을
실행하는 시간 간격을「간격 ( 분 )」에 입력합니다 .
그후 , [ 상세설정 ] 버튼을 눌러서 ,「클리닝 상세설정」화면의「시간관리」탭내의「클리닝 타입」,「스피드」,「흡인」을 설정
해 주십시오 . 또한 ,「시간관리」탭 화면에는「상세 자동간격」항목이 없으므로 , 설정은 1 종류만 등록할 수 있습니다 .
[인쇄] ー「클리너」탭 화면
[상세설정] 버튼
68528-N1-00
5-30
5
7. 마크 데이터의 작성
기판이나 마스크 피듀셜에서 사용하는 마크데이터의 작성방법을 설명합니다 . 마크데이터는 등록된 마크마다
아래의 그림과 같이 각종 파라미터를 가지고 있습니다 . 직접 설정하지 않는 파라미터는 보조조정 ( 조정）으로
확인하면서 최적치를 구합니다 .
마크 데이터의 파라미터 구성
마크명
코멘트
(마크타입)
표면타입
인식타입
마크경계값
마크인식공차
마크검출범위 XY
외륜조명레벨
내륜조명레벨
동축조명레벨
IR외륜조명레벨
IR내륜조명레벨
마크외 노이즈 컷트 수
마크내 노이즈 컷트 수
마크타입
데이터베이스 번호
형상타입
마크외형
(마크외형 XY)
(마크면적)
(마크주위길이)
68529-N1-00
참고
표시되는 파라미터는 선택한「형상타입」등에 의해 달라집니다 .