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A-3 A 1 .2 전원접속 부 본 체 정 면 우측 하 단 패 널 을 열 면 전 원 접 속부 가 있 습 니 다 . 아 래 의 그 림 과 같 은 전 원 케 이 블을 사 용 해 서 , 메 인 브 레 이 커 의 일 차측 단 자 L 1 , L 2 , L 3 , PE 에 접 속 합 니 다 . ■ 전원사양 전원 단상 20 0 / 208 / 22 0 / 23 0V ± 20V 주파수 5 0/ 6 0 H…
A-2
A
1.1.2 엣지클램프용에어압
기판의 틀을 옆 방향에서 끼워서 고정하는 엣지 클램프는 , 에어로 작동합니다. 일반적으로 , 이 에어압은
0.225MPa 로 설정해 둡니다. 필요에 따라서 , 본체 내부의 좌측면에 있는 압력 레귤레이터 노브를 돌려서
조정해 주십시오 .
c
주의
엣지클램프용에어압을조정하기전에 ,장비의공급에어가적정값 (0.40~0.41MPa) 으로설정되어있는것을확인해주십시오 .
w
경고
엣지클램프용에어압을조정할때에는 ,장비가비상정지상태로되어있는지확인해주십시오 .
엣지 클램프용 에어압 조정
본체 내부 좌측면
압력 레귤레이터압력 표시계
(보통은 0.225MPa로 설정)
마스크 클램프
57A01-N1- 0 0
압력 표시계
엣지클램프의에어압이표시되어있습니다 .
압력 레귤레이터
엣지클램프에공급하는에어압력을조정합니다 .
n
요점
분할기판이나 얇은 기판 등에 엣지 클램프를 사용했을 때 , 기판이 위로 휘어질 가능성이 있을 경우는 , 엣지 클램프의 에어압
을 약하게 설정해 주십시오 . 반대로 , 단단하게 클램프 할 필요가 있는 무거운 기판 등의 경우는 , 에어압을 강하게 설정해 주
십시오 .
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1.2 전원접속부
본체정면 우측하단 패널을 열면 전원 접속부가 있습니다. 아래의 그림과 같은 전원케이블을 사용해서 , 메인
브레이커의 일차측 단자 L1, L2, L3, PE 에 접속합니다.
■ 전원사양
전원 단상 200 / 208 / 220 / 230V ± 20V
주파수 50/60Hz
전원용량 6.9kVA( 옵션인 온도조정 유닛은 제외 )
c
주의
상위에누전브레이커를설치할경우는 ,감도전류30mA 이상의것을설치해주십시오 .
전원 입력 단자
전원 입력 단자 M5
브레이커
단자대
L1 L2 PE
57A0 2- N1- 0 0
L1
L M5
L2
N M5
L=350mm
전원 케이블 가공예
원형 압착단자 M5
접지（녹색）
57A0 3 -N1- 00
c
주의
전원케이블에는 ,도체단면적이6.0 ㎟이상의것을사용해주십시오 .
전원케이블단자의접속이틀리면 ,클리너부의흡인동작이반대로 ( 에어가뿜어나옴 ) 작동됩니다 .반드시올바르게접속해주
십시오 .
w
경고
감전사고를방지하기위해 ,전원접속은외부의원전원이꺼져있음을확인하고실시해주십시오 .또한 ,본체접지부의접속
은확실하게실행해주십시오 .
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1.3 기기간입출력커넥터
하류측 장비 및 상류측 장비와의 기판요구나 운전상태 등의 신호교환은 장비본체 배면 하부 패널내의
NEXT INTERFACE 와 PREVIOUS INTERFACE 커넥터로 실행합니다.
NEXT INTERFACE 커넥터는 하류측 장비와 접속하고 , PREVIOUS INTERFACE 커넥터는 로더 등
의 상류측 장비와 접속합니다.
표준인 「우→좌」 흐름에서는 배면 하부 패널내의 좌측에 PREVIOUS INTERFACE 가, 배면 하부 패널
내의 우측에 NEXT INTERFACE 가 배치되어 있습니다.
두 커넥터 모두 AMP 206043-1(14-pin•receptacle) 을 사용하고 있습니다.
기기간 입출력 커넥터
배면 하부 패널내부
Connector : AMP 206043-1 (14-pin receptacle)
NEXT INTERFACE
14
11
12
7
4
8
3
1
PREVIOUS INTERFACE
14
11
12
7
4
8
1
3
57A0 4- N1- 0 0