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2-3 2 1 .3 대표적 인 에러 와 대처 방법 여 기 에 서 는 운 전 중에 표 시 되 는 대 표 적 인 에 러 와 그 대 처 방 법 을 다음 과 같이 나 타 냅 니 다 . ■ 컨베 이어 관련 코드 에러 명 칭과 내 용 Ea8088 기판 테이블의 이 동금지 상태 기판 테이블의 입구 에서 기판이 검출되었으 므로 , 기판 테이블의 X 축 , Y 축 , R 축 , Z 축 , W 축 의 축 이동…
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1.2 에러의 클리어방법
운전중에 에러가 발생하면 버저가 울리면서, 장비상부의 표시등의 노란색 램프가 점등하고 조작화면의 스테이터
스 에리어에도 「에러」라고 노란색으로 표시됩니다. 동시에 에러내용을 나타내는 화면이 표시됩니다.
에러내용을 확인하고 클리어 할때는 아래의 순서에 따라 실시합니다.
에러 화면의 예
68200-N1-00
1
버저를 OFF 합니다 .
오퍼레이션 패널의「ERROR CLEAR」버튼을 한번 누르거나 , 에러화면의 [ 버저 OFF] 버튼을 눌러서
버저를 OFF 합니다 .
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에러 내용을 확인합니다 .
에러화면에 내용이 표시되므로 , 확인하고 에러의 원인을 제거하십시오 .
장비의 축 이동 범위내에 손 등을 넣어서 작업할 때는 , 반드시 비상정지 상태로 하십시오 .
3
에러 화면을 클리어합니다 .
다시 한번 더 오퍼레이션 패널의「ERROR CLEAR」버튼을 누르거나 에러화면의「에러 클리어」버튼을
눌러서 에러 화면을 클리어합니다 .
4
표시를 확인합니다 .
장비상부의 표시등인 노란색 램프와 조작화면의 스테이터스 에리어의「에러」표시가 꺼졌음을 확인합니
다.
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1.3 대표적인 에러와 대처방법
여기에서는 운전중에 표시되는 대표적인 에러와 그 대처방법을 다음과 같이 나타냅니다 .
■ 컨베이어 관련
코드 에러 명칭과 내용
Ea8088
기판 테이블의 이동금지
상태
기판 테이블의 입구에서 기판이 검출되었으므로 , 기판 테이블의 X 축 , Y 축 , R 축 , Z 축 , W 축의 축 이동이 금지되어 있
습니다 .
원인 기판 테이블 입구에 기판이 있거나 또는 , 입구 센서가 오검지하고 있다
대책
•
기판 테이블 입구에 있는 기판을 제거해 주십시오 .
•
입구 센서를 청소하고 , 상태를 확인해 주십시오 .
Ea8089
기판 테이블의 이동금지
상태
기판 테이블의 출구에서 기판이 검출되었으므로 , 기판 테이블의 X 축 , Y 축 , R 축 , Z 축 , W 축의 축 이동이 금지되어 있
습니다 .
원인 기판 테이블 출구에 기판이 있거나 또는 , 출구 센서가 오검지하고 있다
대책
•
기판 테이블 출구에 있는 기판을 제거해 주십시오 .
•
출구 센서를 청소하고 , 상태를 확인해 주십시오 .
Ea8158
기판흡착 부압 에러 ( 옵션 )
상태 기판 흡착의 부압센서 체크 결과가 NG 입니다 .
원인
기판이 정확하게 흡착되어 있지 않거나 , 기판사이즈 높이 (Z) 값이 커서 기판이 휘어있다 . 또는 , 부압 센서의 조정 상태가
올바르지 않다
대책
•
기판사이즈 높이 (Z) 값을 확인해 주십시오 .
•
기판을 흡착한 상태에서 부압 센서를 조정해 주십시오 .
부압 센서를 조정한 후 , 에어가 새지 않는지 확인해 주십시오 . 에어가 새고 있을 경우는 , 흡착블록의 장착 상태를 재확인
해 주십시오 .
Ea8161
기판흡착 부압체크 에러
상태 기판고정의 해제시에 부압이 충분이 내려가지 않았습니다 .
원인
다음의 원인으로 생각됩니다 .
1. 기판의 흡착상태
2. 부압센서의 조정상태
대책 해당 원인을 제거해 주십시오 .
Ea8164
플랩동작 위험
상태 플랩이 카메라 축 , 또는 기판 프레스와 간섭할 가능성이 있으므로 , 플랩을 작동할 수 없습니다 .
원인
다음의 원인으로 생각됩니다 .
1. 기판 테이블이 기판인식 높이에 없다
2. 기판 프레스가 내려가 있다 .
대책
해당 원인을 제거해 주십시오 .
기판 플랩을 상승시킨 후에 , 다시 실행해 주십시오 .
Ea8206
기판 테이블 이동 불가
상태 컨베이어상에 기판이 있어서 , 기판 테이블을 이동시킬 수 없습니다 .
원인 컨베이어상에 기판이 있어서 , 기판 테이블이 이동할 수 없습니다 .
대책 컨베이어상의 기판을 제거하여 주십시오 .
Ea8207
기판고정 에러
상태 기판고정에 실패했습니다 .
원인 반입 / 고정한 기판이 기판고정 위치에 없습니다 .
대책 손으로 기판을 제거하고 , 반입 동작을 다시 실행해 주십시오 .
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코드 에러 명칭과 내용
Ea8221
<< 중대한 에러 >> 인쇄완료 기판의 견실
상태 판분리 한 후에 기판고정을 해제했습니만 , 인쇄위치의 센서가 인쇄완료 기판을 검출하지 못했습니다 .
원인
다음의 원인으로 생각됩니다 .
1. 마스크에 기판이 부착되어 있다
2. 기판이 컨베이어로부터 낙하했다
대책
운전을 재개할 경우는 , 다음의 순서에 따라서 복구해 주십시오 .
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 마스크를 탈착해 주십시오 .
2. 인쇄위치의 기판의 상태를 확인하고 기판을 제거해 주십시오 .
3. 리셋한 후에 , 운전을 재개해 주십시오 .
■ 축 관련
코드 에러 명칭과 내용
Ea8081
기판 테이블 XYR 축 이동 금지
상태 기판 테이블이 하강위치에 있어서 , 기판 테이블의 X 축 , Y 축 , R 축의 축 이동이 금지되어 있습니다 .
원인 기판 테이블이 하강위치에 있어서 , 기판 테이블의 X 축 , Y 축 , R 축의 축 이동이 금지되어 있습니다 .
대책 「축이동」 화면에서 기판 테이블의 Z 축을 상승시켜 주십시오 .
Ea8084
기판 테이블 하강 금지
상태 기판 테이블이 기판반송 위치에 없으므로 , 기판 테이블의 하강은 금지되어 있습니다 .
원인 기판 테이블이 기판반송 위치에 없으므로 , 기판 테이블의 하강은 금지되어 있습니다 .
대책 「축이동」 화면에서 기판 테이블의 X 축 , R 축을 기판반송 위치에 이동시켜 주십시오 .
Ea8096
스퀴지 하강으로 SR 축 이동 금지
상태 스퀴지 SZ 축이 SR 축 회전때의 높이보다 하강되어 있어서 , SR 축의 축 이동이 금지되어 있습니다 .
원인 스퀴지 SZ 축이 SR 축 회전때의 높이보다 하강되어 있어서 , SR 축의 축 이동이 금지되어 있습니다 .
대책 「축 이동」 화면에서 스퀴지 SZ 축을 상승시키거나 , 또는 리셋 실행후 , 재실행 해 주십시오 .
■ 클리너 관련
코드 에러 명칭과 내용
Ea8095
클리닝 용제 출력 이상
상태 클리닝 용제의 출력에 이상이 있습니다 .
원인
[ 장치 - 클리너 ] 화면의 [ 용제펌프 ] 버튼을 눌러서 , 클리닝 용제가 제대로 출력되는지 확인하여 주십시오 . 클리닝 용제가
제대로 출력되지 않을 경우에는 , 아래의 원인으로 생각됩니다 .
- 용제 펌프의 릴레이 용착
- 컨베이어 I ／ O 보드의 이상
- I/O 통신선의 단선
대책
- 용제 펌프의 릴레이 교환
- 컨베이어 I/O 보드의 교환
- I/O 통신 하네스의 커넥터 분리 , 단선 , 접지선이 느슨하지 않은지 확인해 주십시오 .
Ea8280
클리너 거즈감기 종료
상태 클리너 거즈의 감기가 모두 종료됐습니다 .
원인 클리너 거즈의 감기가 모두 종료됐습니다 .
대책
새로운 거즈로 교환하여 주십시오 .
교환 방법은 , 사용자 매뉴얼의 「클리너용 거즈 롤의 교환」 부분을 참조해 주십시오 .
Ea8281
용제잔량 에러
상태 클리너의 용제가 거의 없습니다 .
원인 클리너 용제가 얼마 남지 않았습니다 .
대책 클리너 용제를 보충해 주십시오 .