YCP10_Users_K.pdf - 第108页
4-12 4 6. 클리 닝용 용제 6 . 1 용제 사 용 상의 주의사항 w 경고 클리닝 용 용제에 는 이소 프 로필 알 코올 또는 에 틸알코올 이외에 는 사 용하지 마 십 시오 . 다 른 용제 를 사 용 하면 인화 할 우려가 있습 니다 . w 경고 아세톤 은 절대로 사 용 하지 마 십시오 . 용 제튜 브 나 클리닝 장 치를 열화시켜 서 세 정액이 샐 우려 가 있습니 다 . 또한 사 용한 클리…
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클리너 폭 변경 유닛 ( 옵션 ) 교환시의 장비설정에 대해서
클리너 폭 변경 유닛 ( 옵션 ) 을 교환할 경우는 ,「장비설정」의「클리너 폭」을 변경할 필요가 있습니다 .
c
주의
•
「장비설정」을 변경할 경우는 , 관리자 권한이 필요합니다 .
•
「장비설정」의 각 파라미터는 , 장비의 출하시 ( 또는 셋업시 ) 에 설정이 완료되어 있으므로 , 변경하지 마십시오 .
•
클리너 폭의 설정을 변경할 경우는 , 다음의 설명을 참고해 주십시오 .
1. 셋업 화면의 [ 장비설정 ] 버튼을 눌러서 ,「VmSpec」화면을 표시합니다 .
2. 「설정」-「장비 데이터」-「클리너 설정」-「기본설정」을 클릭합니다 .
3. 「클리너 폭」을 설정합니다 .
드롭다운 리스트에서 교환할 클리너 폭 변경 유닛의 사이즈를 선택합니다 .
4. 화면우측 위의 [ 닫기 ] 버튼을 클릭하고 설정을 종료합니다 .
데이터를 변경한 경우는 , 종료 대화창에서 [ 예 ] 를 클릭해 주십시오 .
VmSpec 화면
「클리너 설정」→「기본설정」→「클리너 폭」
[닫기] 버튼
사이즈를 선택해서 설정
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5. 클리너 폭 값을 변경했을 경우는 , 기판 데이터를 다시 읽어 주십시오 .
기판 데이터를 다시 읽음으로써 , 변경 내용이 유효하게 됩니다 .
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6. 클리닝용 용제
6.1 용제 사용상의 주의사항
w
경고
클리닝용 용제에는 이소프로필 알코올 또는 에틸알코올 이외에는 사용하지 마십시오 . 다른 용제를 사용하면 인화할 우려가
있습니다 .
w
경고
아세톤은 절대로 사용하지 마십시오 . 용제튜브나 클리닝 장치를 열화시켜서 세정액이 샐 우려가 있습니다 . 또한 사용한 클리
닝용 알코올은 반복해서 사용하지 마십시오 .
w
경고
이소프로필 알코올을 사용할 경우에는 , 취급에 주의하여 주십시오 . 장시간 들이마시면 신체에 해를 끼칠 가능성이 있습니다 .
6.2 용제의 보급방법
용제 보틀의 액면이 용제소진 센서의 이하가 되면 에러 화면이 표시되고 , 습식 클리닝을 할 수 없게 됩니다.
클리닝용 용제 보틀은, 장비 정면 좌측 아래에 있습니다. 다음과 같은 순서대로 용제를 보급해 주십시오 .
1
용제보틀을 탈거합니다 .
용제 보틀과 접속되어 있는 장비 본체측의 외주 링
을 당기면서 용제 보틀을 탈거해 주십시오 .
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2
용제를 보틀에 주입합니다 .
용제는 이소프로필 알코올 또는 에틸 알코올을 사
용해 주십시오 .
n
요점
용제는 보틀에 가득 채워 주십시오 . 그리고 , 보틀 캡이 확실
하게 잠겨 있는지도 확인해 주십시오 .
3
옹제 보틀을 원위치에 세팅합니다 .
용제 보틀 접속구를 장비 본체측의 외주 링에 확실
하게 밀어서 끼워 주십시오 .
4
에러 화면을 클리어하고 , 표시 내용을
확인합니다 .
장비 상부의 표시등의 노란색 램프와 조작 화면의
스테이터스 에리어의 「에러」표시가 꺼진 것을 확
인해 주십시오 .
용제 보틀
Step 1
용제보틀 용제소진 센서
외주 링을 당기면서 분리
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4
n
요점
처음으로 용제 보틀을 세팅했을 경우나, 용제를 한동안 사용하지 않았을 경우는 , 용제 보틀을 세팅한 후에 , 다음과 같은 순서대로
용제를 거즈 롤에 토출시켜 주십시오 .
1. 「장치」화면의「클리너」탭을 선택합니다.
2. [용제펌프 ] 버튼을 눌러서 용제를 토출시킵니다. 거즈 롤에 용제가 스며들면 작업완료 입니다 .
장치 화면
「클리닝」탭
[용제 펌프] 버튼
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