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2-12 2 4 전원 OFF 확인 대화 창 이 표 시되면 [ OK] 버튼을 누 릅니다 . 어 플 리케 이션 이 자 동적으로 종료 됩니 다 . e 5 비상정지 상태로 합니다 . 비 상정 지 대 화 창이 표시되 면 비상정 지 버 튼을 누 르고 [OK ] 버 튼을 누 르십 시 오 . 6 장비 본 체의 전원 스 위치를 OFF 로 합 니다 . 화면에 전원 O FF 허 가 메시 지가 표시되 면 장비 본…

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2.3 장비의 전원을 OFF 로 한다
아래의 순서에 따라 장비의 전원을 OFF 로 하십시오 .
1
조작 화면의 [ 전원 Off] 버튼을 누릅니다 .
[전원 Off] 버튼
[전원 Off]버튼
68204-N1-00
2
종료확인 대화창이 표시되면 [ 예 ] 를 누릅니다 .
종료확인 대화창
68205-N1-00
3
원점위치로 이동합니다 .
원점위치 이동 대화창이 표시되면 [OK] 를 누르십시오 .

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전원 OFF 확인 대화창이 표시되면 [OK] 버튼을 누릅니다 .
어플리케이션이 자동적으로 종료됩니다 .
e
5
비상정지 상태로 합니다 .
비상정지 대화창이 표시되면 비상정지 버튼을 누르고 [OK] 버튼을 누르십시오 .
6
장비 본체의 전원 스위치를 OFF 로 합니다 .
화면에 전원 OFF 허가 메시지가 표시되면 장비 본체의 전원 스위치를 왼쪽으로 돌려서 OFF 해 주십시
오.
c
주의
종료 순서를 무시하고 함부로 전원 스위치를 OFF 로 하면 데이터나 기기의 파손원인이 됩니다 .
c
주의
전원을 OFF 한 후 , 재차 장비를 기동할 경우에는 2 초이상 기다린 후에 ON 으로 해 주십시오 . 순서를 무시하면 경우에 따라서는
장비의 기동에 지장이 생길 수 있습니다 .

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3. 조작화면의 설명
소프트웨어 화면의 기본적인 구성과 조작방법을 설명합니다 . 장비의 조작을 하기 전에 읽어 주십시오 .
n
요점
표준사양의 경우, 키보드 및 마우스가 없으므로 , 조작은 전부 터치패널로 합니다. 파라미터를 입력할 때에는 , 대화창이 표시되므
로 터치펜으로 조작•입력해 주십시오 .
3.1 조작화면의 기본구성
조작화면은 「스테이터스 에리어」, 「버튼 에리어」, 「프리 에리어」로 구성되어 있습니다.
화면 구성예
기판 선택후의 셋업화면
버튼 에리어 1
버튼 에리어 2 버튼 에리어 3
스테이터스 에리어
프리 에리어
6820 6 -N1-10
■ 화면상의 에리어
스테이터스 에리어 좌측 끝에 현재의 기계상태 , 중앙에 선택되어 있는 기판명 , 우측 끝에 기판의 생산수량을 표시합니다 .
버튼 에리어 1
메뉴 버튼으로 조작상의 주요 메뉴를 선택할 수 있습니다 . 선택한 버튼에 따라 「프리에리어」 의 화면
내용이 바뀝니다 .
버튼 에리어 2 보조적인 기능을 불러내기 위한 버튼입니다 .
버튼 에리어 3 장비의 전원을 OFF 하기 위한 [ 전원 Off] 버튼이 있습니다 .
프리 에리어 메뉴버튼에서 선택된 조작화면이 표시됩니다 .
참고
버튼 에리어의 메뉴버튼을 누르면 프리 에리어의 조작화면이 전환됩니다. 각 조작화면의 버튼기능이나 설정항목의 자세한
내용은 제 4 장 ~ 제 7 장을 참조해 주십시오 .