YCP10_Users_K.pdf - 第62页
2-2 2 1. 2 에러 의 클리 어 방법 운 전 중 에 에 러 가 발 생 하 면 버 저 가 울리 면 서 , 장 비 상 부 의 표 시 등 의 노 란 색 램 프가 점 등 하 고 조 작 화 면 의 스 테 이 터 스 에 리 어 에 도 「에 러 」라 고 노 란 색 으로 표 시 됩 니 다 . 동 시 에 에 러 내 용을 나 타 내 는 화 면 이 표 시 됩 니 다 . 에 러 내 용을 확 인 하 고 클 리…

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1. 비상정지의 해제와 에러 클리어
비상정지의 해제와 에러클리어 방법을 설명합니다 .
1.1 비상정지의 해제방법
장비가 비상정지 상태일 때는 장비상부의 표시등인 빨간색 램프가 점등하고 조작화면의 스테이터스 에리어에도「비
상정지」라고 빨간색으로 표시됩니다. 비상정지의 해제방법은 다음과 같습니다.
1
비상정지 버튼을 원상태로 합니다 .
비상정지 버튼이 눌려진 경우 , 오른쪽으로 돌려서 해제합니다 .
장비 정면 우측상단의 오퍼레이션 패널에 비상정지 버튼이 있습니다 .
참고
안전스위치 등에 의한 인터록으로 비상정지된 경우는 , 그 원인을 제거해 주십시오 .
2
안전을 확인합니다 .
비상정지 해제후의 운전에 대비해서 , 주위의 안전을 확인해 주시기 바랍니다 .
3
오퍼레이션 패널의「READY」버튼을 누릅니다 .
「READY」버튼을 누르면 , 서보 ON 의 상태로 됩니다 .
「READY」버튼
「READY」버튼
67200-N1-00
4
표시를 확인합니다 .
표시등인 적색램프가 꺼지고 조작화면의 좌측상단 ( 스테이터스 에리어 ) 의「비상정지」표시가 꺼진것을
확인하시기 바랍니다 .

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1.2 에러의 클리어방법
운전중에 에러가 발생하면 버저가 울리면서, 장비상부의 표시등의 노란색 램프가 점등하고 조작화면의 스테이터
스 에리어에도 「에러」라고 노란색으로 표시됩니다. 동시에 에러내용을 나타내는 화면이 표시됩니다.
에러내용을 확인하고 클리어 할때는 아래의 순서에 따라 실시합니다.
에러 화면의 예
68200-N1-00
1
버저를 OFF 합니다 .
오퍼레이션 패널의「ERROR CLEAR」버튼을 한번 누르거나 , 에러화면의 [ 버저 OFF] 버튼을 눌러서
버저를 OFF 합니다 .
2
에러 내용을 확인합니다 .
에러화면에 내용이 표시되므로 , 확인하고 에러의 원인을 제거하십시오 .
장비의 축 이동 범위내에 손 등을 넣어서 작업할 때는 , 반드시 비상정지 상태로 하십시오 .
3
에러 화면을 클리어합니다 .
다시 한번 더 오퍼레이션 패널의「ERROR CLEAR」버튼을 누르거나 에러화면의「에러 클리어」버튼을
눌러서 에러 화면을 클리어합니다 .
4
표시를 확인합니다 .
장비상부의 표시등인 노란색 램프와 조작화면의 스테이터스 에리어의「에러」표시가 꺼졌음을 확인합니
다.

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1.3 대표적인 에러와 대처방법
여기에서는 운전중에 표시되는 대표적인 에러와 그 대처방법을 다음과 같이 나타냅니다 .
■ 컨베이어 관련
코드 에러 명칭과 내용
Ea8088
기판 테이블의 이동금지
상태
기판 테이블의 입구에서 기판이 검출되었으므로 , 기판 테이블의 X 축 , Y 축 , R 축 , Z 축 , W 축의 축 이동이 금지되어 있
습니다 .
원인 기판 테이블 입구에 기판이 있거나 또는 , 입구 센서가 오검지하고 있다
대책
•
기판 테이블 입구에 있는 기판을 제거해 주십시오 .
•
입구 센서를 청소하고 , 상태를 확인해 주십시오 .
Ea8089
기판 테이블의 이동금지
상태
기판 테이블의 출구에서 기판이 검출되었으므로 , 기판 테이블의 X 축 , Y 축 , R 축 , Z 축 , W 축의 축 이동이 금지되어 있
습니다 .
원인 기판 테이블 출구에 기판이 있거나 또는 , 출구 센서가 오검지하고 있다
대책
•
기판 테이블 출구에 있는 기판을 제거해 주십시오 .
•
출구 센서를 청소하고 , 상태를 확인해 주십시오 .
Ea8158
기판흡착 부압 에러 ( 옵션 )
상태 기판 흡착의 부압센서 체크 결과가 NG 입니다 .
원인
기판이 정확하게 흡착되어 있지 않거나 , 기판사이즈 높이 (Z) 값이 커서 기판이 휘어있다 . 또는 , 부압 센서의 조정 상태가
올바르지 않다
대책
•
기판사이즈 높이 (Z) 값을 확인해 주십시오 .
•
기판을 흡착한 상태에서 부압 센서를 조정해 주십시오 .
부압 센서를 조정한 후 , 에어가 새지 않는지 확인해 주십시오 . 에어가 새고 있을 경우는 , 흡착블록의 장착 상태를 재확인
해 주십시오 .
Ea8161
기판흡착 부압체크 에러
상태 기판고정의 해제시에 부압이 충분이 내려가지 않았습니다 .
원인
다음의 원인으로 생각됩니다 .
1. 기판의 흡착상태
2. 부압센서의 조정상태
대책 해당 원인을 제거해 주십시오 .
Ea8164
플랩동작 위험
상태 플랩이 카메라 축 , 또는 기판 프레스와 간섭할 가능성이 있으므로 , 플랩을 작동할 수 없습니다 .
원인
다음의 원인으로 생각됩니다 .
1. 기판 테이블이 기판인식 높이에 없다
2. 기판 프레스가 내려가 있다 .
대책
해당 원인을 제거해 주십시오 .
기판 플랩을 상승시킨 후에 , 다시 실행해 주십시오 .
Ea8206
기판 테이블 이동 불가
상태 컨베이어상에 기판이 있어서 , 기판 테이블을 이동시킬 수 없습니다 .
원인 컨베이어상에 기판이 있어서 , 기판 테이블이 이동할 수 없습니다 .
대책 컨베이어상의 기판을 제거하여 주십시오 .
Ea8207
기판고정 에러
상태 기판고정에 실패했습니다 .
원인 반입 / 고정한 기판이 기판고정 위치에 없습니다 .
대책 손으로 기판을 제거하고 , 반입 동작을 다시 실행해 주십시오 .