YCP10_Users_K.pdf - 第62页

2-2 2 1. 2 에러 의 클리 어 방법 운 전 중 에 에 러 가 발 생 하 면 버 저 가 울리 면 서 , 장 비 상 부 의 표 시 등 의 노 란 색 램 프가 점 등 하 고 조 작 화 면 의 스 테 이 터 스 에 리 어 에 도 「에 러 」라 고 노 란 색 으로 표 시 됩 니 다 . 동 시 에 에 러 내 용을 나 타 내 는 화 면 이 표 시 됩 니 다 . 에 러 내 용을 확 인 하 고 클 리…

100%1 / 286
2-1
2
1. 정지제와 에러 클리
상정해제러클방법을 설합니 .
1.1 비상정지해제방법
프가 「비
」라으로 . .
1
비상정지 버튼을 원상태로 합니다 .
상정튼이 눌려 , 른쪽으로 돌려서 합니 .
장비 우측상단의 오퍼레이션 널에 비상정튼이 습니 .
참고
치 등에 의한 인으로 비된 경우는 , 그 원을 제해 주십 .
2
전을 확인합니다 .
상정해제후의 운전에 비해 , 안전확인주시바랍니 .
3
퍼레이션 패널의「READY」버튼니다 .
「READY」버튼 , ON 상태 .
READY」버튼
「READY」버튼
67200-N1-00
4
시를 확인합니다 .
표시적색램프가 꺼지조작화면좌측상단 ( 스테이터 ) 「비상정지」표꺼진것을
인하시기 니다 .
2-2
2
1.2 에러클리방법
울리, 프가
「에」라으로 . 용을 .
용을 할때아래.
에러 화면의 예
68200-N1-00
1
버저를 OFF 니다 .
오퍼「ERROR CLEAR」버튼을 한르거 , 에러화면[ OFF] 튼을 눌러서
OFF 합니다 .
2
에러 인합니다 .
화면에 내용이 표시되므로 , 확인에러인을 제거하십시 .
장비이동 범위등을 넣어 , 반드시 상정상태 .
3
에러 면을 클리어합니다 .
오퍼레이션 널의「ERROR CLEAR」버튼을 화면의「에클리」버
눌러서 에러 화면클리합니 .
4
시를 확인합니다 .
장비상부표시등인 램프와 작화면스테「에러」표시가 꺼졌음을 확인합니
다.
2-3
2
1.3 대표적에러대처방법
중에 다음같이 .
컨베이어 관련
코드 에러 칭과
Ea8088
기판 테이블의 이동금지
상태
기판 테이블의 입구에서 기판이 검출되었으므로 , 기판 테이블의 X , Y , R , Z , W 축이동이 금지되어 있
습니다 .
원인 기판 테이블 입구에 기판이 있거나 또는 , 입구 센서가 검지하고 있다
대책
기판 테이블 입구있는 기판을 제거해 십시오 .
입구 센서를 청소하고 , 태를 확인해 주십시오 .
Ea8089
기판 테이블의 이동금지
상태
기판 테이블의 출구에서 기판검출되었으므 , 기판 테이블의 X , Y , R , Z , W 축의 축 이동이 금지되
습니다 .
원인 기판 테이블 출기판이 있거또는 , 센서가 검지하고 있다
대책
기판 테이블 출에 있기판을 제거해 주십시 .
센서를 청소하고 , 상태를 인해 주십시오 .
Ea8158
기판흡에러 ( 옵션 )
상태 착의 부압센서 체크 결과가 NG 입니다 .
원인
기판이 정확하게 흡착되어 있지 않거나 , 기판사이즈 높 (Z) 값이 커서 기판이 휘어있다 . 또는 , 부압 센서의 조정 상태가
올바르지 않
대책
기판사이즈 높이 (Z) 값을 인해 주십시 .
기판을 착한 태에서 부압 센서를 조정해 주십시오 .
부압 센서를 조정한 , 에어가 새지 않는지 확인해 십시오 . 에어가 새고 있을 경우 , 착블록의 장착 상태를 확인
주십시 .
Ea8161
기판흡체크 에러
상태 판고정의 해제시에 부압이 분이 내려가않았습니다 .
원인
원인으로 각됩니다 .
1. 기판의 착상태
2. 부압센서의 조정상태
대책 해당 원인을 제거해 십시오 .
Ea8164
플랩동위험
상태 플랩이 카메라 , 또는 기판 프레스간섭할 성이 있으 , 플랩을 작동할 없습니다 .
원인
원인으로 각됩니다 .
1. 기판 테이블이 기판인식 높이에 없다
2. 기판 프레스가 내려가 있다 .
대책
해당 원인을 제거해 십시오 .
기판 플랩을 상승시킨 후에 , 다시 실행해 주십시오 .
Ea8206
기판 테이블 이동 불가
상태 베이어상에 기판이 있어서 , 기판 테이블이동시킬 수 없습니다 .
원인 컨베이어상기판이 있어서 , 기판 테이블이 이동할 없습니다 .
대책 컨베이어상의 기판을 제거하여 주십시오 .
Ea8207
기판고정 에러
상태 기판정에 실패했습니다 .
원인 반입 / 고정한 기판기판고정 위치에 없습니다 .
대책 손으로 기판제거하고 , 반입 작을 다시 실행해 주십시오 .