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A-1 A 1. 사 양 1 . 1 에어압조정부 1 . 1 . 1 공 급에어압 본 체 정 면 하부 패 널 내 에 , 본 체 에 공 급 하는 에 어 압 의 조 정 부 가 있 습 니 다 . 다 음 과 같이 적 정 값 으로 설 정 해 주 십시오 . c 주의 압력레귤레 이터 로에어 압을설정 하 기전에 ,본체 에공급되 어있 는원에 어압력 이적정 범 위 (0.45MPa…
A-1
A
1.사양
1.1 에어압조정부
1.1.1 공급에어압
본체 정면하부 패널내에 , 본체에 공급하는 에어압의 조정부가 있습니다. 다음과 같이 적정값으로 설정해
주십시오 .
c
주의
압력레귤레이터로에어압을설정하기전에 ,본체에공급되어있는원에어압력이적정범위 (0.45MPa~0.70MPa) 에있는것을
확인해주십시오 .
에어압 조정부와 커넥터
에어 필터
미스트 필터
4
31 2
5
57A00-N1-00
1. 에어압력 표시계
설정에어압력이표시되어있습니다 .압력레귤레이터노브로다음과같이표시되도록설정해주십시오 .
•
설정 에어압력 : 0.40MPa~0.41MPa
2. 압력 표시계 ( 클리너 흡착용 )
클리너의에어압력 ( 부압 ) 이표시됩니다 .
3. 공급에어 압력 레귤레이터
본체에공급하는에어압력을적정한설정값으로조정합니다 .설정에어압력의표시가0.40MPa 를가리키도록 ,노브를
돌려서조정해주십시오 .
4. 에어공급 / 배출 스위치
이스위치를오른쪽으로돌리면 ,에어공급을차단합니다 .또한 ,에어경로내에남아있는에어도배출합니다 .
5. 원 에어 커넥터
30SH(日東工器 )소켓을장착한내경8mm 이상의에어호스를이커넥터에접속하고장비에압축에어를공급해주십시오.
에어드라이어및에어필터를통과한청정한건조에어를사용해주십시오 .
A-2
A
1.1.2 엣지클램프용에어압
기판의 틀을 옆 방향에서 끼워서 고정하는 엣지 클램프는 , 에어로 작동합니다. 일반적으로 , 이 에어압은
0.225MPa 로 설정해 둡니다. 필요에 따라서 , 본체 내부의 좌측면에 있는 압력 레귤레이터 노브를 돌려서
조정해 주십시오 .
c
주의
엣지클램프용에어압을조정하기전에 ,장비의공급에어가적정값 (0.40~0.41MPa) 으로설정되어있는것을확인해주십시오 .
w
경고
엣지클램프용에어압을조정할때에는 ,장비가비상정지상태로되어있는지확인해주십시오 .
엣지 클램프용 에어압 조정
본체 내부 좌측면
압력 레귤레이터압력 표시계
(보통은 0.225MPa로 설정)
마스크 클램프
57A01-N1- 0 0
압력 표시계
엣지클램프의에어압이표시되어있습니다 .
압력 레귤레이터
엣지클램프에공급하는에어압력을조정합니다 .
n
요점
분할기판이나 얇은 기판 등에 엣지 클램프를 사용했을 때 , 기판이 위로 휘어질 가능성이 있을 경우는 , 엣지 클램프의 에어압
을 약하게 설정해 주십시오 . 반대로 , 단단하게 클램프 할 필요가 있는 무거운 기판 등의 경우는 , 에어압을 강하게 설정해 주
십시오 .