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4-14 4 6 .3 장 기보 관 할 경우의 작 업 방법 용 제 펌 프 를 장 기 간 ( 약 6 개 월 이 상 ) 사용 하 지 않 을 경 우에 는 , 내 부 가 건 조 되 어 동 작불 량 의 원 인 이 될 수 수 있 습 니 다 . 이 것 을 방 지 하 기 위 해 펌 프 부 의 용 제 경 로 를 차 단 할 필 요가 있 습 니 다 . 다 음 과 같이 작 업 순 서 에 대 해 서 설명합 니다 . …

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4
n
요점
으로 용제 보틀을 세을 경, 용를 한동안 사용지 않았을 경우는 , 용제 보틀을 세한 후 , 다음과 같은 순
를 거즈 롤에 토켜 주십 .
1. 「클을 선.
2. [ ] 을 눌러서 용를 토. 거즈 롤에 용가 스면 작업료 입 .
장치 화면
「클리닝」탭
[용제 펌프] 버튼
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4
6.3 기보경우의 방법
( 6 ) 사용우에 , 작불
. 요가 . 같이
설명합니다 .
용제 경로차단방법
1
클리너 커버를 착합니다 .
1. 클리너 커버쪽을 고정하고 2
( 우측림의 둥근점선 부분 ) 합니다 .
2. 속해서 앞쪽4 군데의 나사를 분리
니다 .
3. 들어 올려서 앞쪽으로 당기커버
착시습니다 .
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2
조인트를 분리합니다 .
쪽과 보틀쪽 2 군데의 조인트를 셔트오프
부착 조인트로부터 분리합니 .
쪽의 조인트를 떼어때에 , 호스내
알코올이 흘러나올 있으므로 , 주의
십시오 .
1. 점선부분호스를 구부린 상태에
쪽의 조인트를 .
2. 등을 준비 , 구부린 부분을 어서
알코올을 출시킵니 .
3. 틀쪽의 조인트는 , 분리곧바
하게 해서 호스내알코올을 틀쪽으로 빠지
합니 .
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3
분리시킨 스에 마킹합니 .
Step2 에서 분리2 호스부에
등을 감아서 마킹해 둡니 .
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4
클리너 커버를 착합니다 .
Step1 에서 탈착시서와 역순으로
커버장착합니다 . 호스를 분리놓은
커버 바깥쪽에서 리본이
부착주십시 .
구방법
「용제 경로의 차단방법」과 역순으로 호스를 접속시키
, 전술「6.2 용제급방법」을 참조용제
보급합니다 .
급이 완료되 , 용제 프가 정상적으로 동작되
확인해 주십시 .
클리너 커버의 탈착
Step 1
우선 이 2군데의 나사를 분리한다
조인트의 분리
Step 2
조인트(헤드쪽)
셔트오프 변 부착 조인트
용기
조인트(보틀쪽)
호스의 마킹
Step 3
마킹 (노란색 리본 등)
마킹
커버의 바깥쪽에서 보이도록 한다
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4
7.
7.1 사이즈스톱
사용하는 스크응해 , 스크 다음같이 요가 .
스크 우는 . F (1 ) 착하 ,
준이R (1 ) .
사이즈스톱퍼 위치
마스프레임 사이
L(mm) × W(mm)
대상 기판사이즈
L(mm) x W(mm)
마스프레임 스톱퍼 위치
L 방향 W 방향
750 × 750 50 x 50( 최소 )~510 x 460( 최대 ) A 미사
750 × 650 50 x 50( 최소 )~510 x 350( 최대 ) A 2 (2 )
736 × 736 50 x 50( 최소 )~510 x 460( 최대 ) B 1 (2 군데 )
650 × 550 50 x 50( 최소 )~330 x 250( 최대 ) C 3 (2 군데 )
600 × 550 50 x 50( 최소 )~330 x 250( 최대 ) D 마스어댑터 ( )
584 × 584 50 x 50( 최소 )~330 x 250( 최대 ) E 마스어댑터 ( 옵션 )
550 × 550 50 x 50( 최소 )~330 x 250( 최대 ) F 마스크 어댑터 ( 옵션 )
마스크 어댑터 ( 옵션 ) 상세한 내용 , 후술의 7.3 마스어댑터를 사용할 경우 참조해 주십시오 .
A
B C DF
E
11
22
3 3
마스크 사이즈와 스톱퍼 핀 위치
마스크 프레임 L
마스크 클램프
마스크 프레임 W
6 7419-N1-10
마스크 스톱퍼 핀
마스크 스톱퍼 핀
67420-N1-0 0
참고
사용지 않는 핀은 보관해 두십 .