JX-200_使用说明书.pdf - 第20页
第 1 部 基本编 第 1 章 设备概要 ◆打开安全盖时要把盖子向上推，按箭头的方向 （ LOCK ）推动锁定杆并锁 定。确认上了锁之后 再放开手。 ﹡没有上好锁就放开手时， 盖子有落下来的危险。 ◆关盖子时先解开锁，再关闭盖子。 把盖子向上提，将锁定杆向 O PEN 方向拉动 解开锁。 （请注意，解开锁时不要使盖子落下来造成人员受伤。 ） ﹡不要过渡增加盖子、手把等的负荷。 < ﹡注：开关安全盖时的注意事项 > LOCK …
第 1 部 基本编 第 1 章 设备概要
1-2 本设备的构成
1-2-1 本设备的构成
图 1-2-1-1 正面图 图 1-2-1-2 右面图
图 1-2-1-3
① ATC单元 ④ X-Y 单元 ⑦ 供料器台架单元
② LNC60 Head单元 ⑤ 基板传送单元
⑧ VCS 单元
③ OCC 单元 ⑥ CAL 块单元
⑨ HMS 单元（选购项）
① 监视器 ④ 键盘 ⑦ 主开关
② 液晶显示器
⑤ 鼠标器
③ HOD 单元（选购项）
⑥ 信号灯（选购项）
①
②
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
1-4
第 1 部 基本编 第 1 章 设备概要
◆打开安全盖时要把盖子向上推，按箭头的方向
（LOCK）推动锁定杆并锁定。确认上了锁之后
再放开手。
﹡没有上好锁就放开手时，
盖子有落下来的危险。
◆关盖子时先解开锁，再关闭盖子。
把盖子向上提，将锁定杆向 OPEN 方向拉动
解开锁。
（请注意，解开锁时不要使盖子落下来造成人员受伤。）
﹡不要过渡增加盖子、手把等的负荷。
<
﹡注：开关安全盖时的注意事项
>
LOCK（锁定）状态 OPEN（打开）状态
锁定杆
1-5
第 1 部 基本编 第 1 章 设备概要
1-2-1-1 基板传送部分的构造
1-2-1-4 基板传送
① 搬入传感器 ⑨ 传送宽度调整手轮
② 停止传感器 ⑩ 减压阀（支撑台用）
③ 止动器 ⑪ 驱动轴
④ 支撑台 UP 传感器 ⑫ 搬出传感器
⑤ 支撑台 DOWN 传感器 ⑬ 止动器电磁阀
⑥ 支撑台电磁阀 ⑭ WAIT 传感器
⑦ 传送马达 ⑮ C、OUT 传感器
⑧ 支撑台
⑩
⑥
①
②
③
④
⑤
⑦
⑧
⑨
⑪⑪
⑪⑬
⑦
⑪
⑪
⑫
⑭
⑮
1-6