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第 2 部 功能详细编 第 7 章 手动控制 (3) 控制按钮 用控制按钮来执行控制项目。 选择控制项目后，按“执行 ( Ｅ ) ”按钮或按下“ F3 ”键进行控制。 1) 初始化 将基板传送初始化。 2) 基板传送 根据定位方式中所指定的方式搬入基板。 3) 基板搬出 将基板搬出。 4) 解除基板固定 释放基板。 5) 基板重新固定 按定位方式指定的方式，重新加紧送通道上的基板。 6) HMS 夹紧 根据指定的定位方式，由 HMS 对…
第 2 部 功能详细编 第 7 章 手动控制
7-4-2-2 自动控制传送
从菜单栏中选择“控制（C）”/“传送（C）”/“自动控制传送(A)”，则显示如下的自动
控制传送画面。
图 7-4-2-2-1 自动控制传送
(1) 控制项目
用按钮来选择控制项目。
图 7-4-2-2-2 控制项目
(2) 定位方式
定位方式仅限于外形基准。
图 7-4-2-2-3 定位方式
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第 2 部 功能详细编 第 7 章 手动控制
(3) 控制按钮
用控制按钮来执行控制项目。
选择控制项目后，按“执行(Ｅ)”按钮或按下“F3”键进行控制。
1) 初始化
将基板传送初始化。
2) 基板传送
根据定位方式中所指定的方式搬入基板。
3) 基板搬出
将基板搬出。
4) 解除基板固定
释放基板。
5) 基板重新固定
按定位方式指定的方式，重新加紧送通道上的基板。
6) HMS 夹紧
根据指定的定位方式，由HMS对基板进行检出、夹紧。
(4) 状态显示
连续显示动作状态、各传感器、各信号、各单元的状态。
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第 2 部 功能详细编 第 7 章 手动控制
7-4-3 图像
7-4-3-1 VCS 控制
从菜单栏选择「控制（C）」/「图像（V）」/「VCS 控制（C）」后，会显示如下的 VCS 控
制画面。
图 7-4-3-1-1 VCS 制御
(1) 控制单元
用按下式按钮，选择控制对象单元。
在 MS 参数的“选项”设置里没有设置视野类型
（没有安装）单元的，不能选择。
不受机器设置的“使用单元”设置的影响。
（不使用的单元也可选择）
(2) 控制项目
用按下式按钮，选择控制项目。
不受机器设置的“使用单元”设置的影响。
（不使用的单元也可选择）
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