DECAN_S1_Administrator′s_Guide(Chi_Ver1.6).pdf - 第131页
6-20 Next Generation, Multi-Functional Plac er DECAN S1 Administrator’s Guide Corner T riangle ： 直角三角形 Fiducial Mark 形态 。 Bent Bar ： Bent Bar 形 Fiducial Mark 形态。 园 : 圆形 基 准点标记 菱形 : 钻石形基准点标记。 长方形 : 四角形基准点标记。 长方形 2: 2 个 四角…
6-20
Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide
Corner Triangle：直角三角形 Fiducial Mark形态。
Bent Bar：Bent Bar形Fiducial Mark 形态。
园: 圆形 基准点标记
菱形: 钻石形基准点标记。
长方形: 四角形基准点标记。
长方形2: 2个四角形的重叠形基准点标记 。
三角形: 三角形基准点标记。
“+"字光标: 十字形基准点标记。
Butterfly: 蝴蝶形Fiducial Mark。
Sharp: 井(#) 形Fiducial Mark。