DECAN_S1_Administrator′s_Guide(Chi_Ver1.6).pdf - 第388页
14-22 Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide 4. 点击 < 是 > 按钮。 那么自动对 Z 轴执行初始化 ， Y1 轴电 动机旋转， 到感知 Y Home 传感器为止移动 X 机架， Home 传感器 感知后， 反方向移动相当于 Y 轴移动距离后， 再感知 Y 轴 Home 传感 器为止反方向移动。 5. 然后如下…
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Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide
4. 点击< 是> 按钮。
那么自动对Z轴执行初始化，Y1 轴电动机旋转，到感知Y Home传感器为止移动
X 机架， Home 传感器感知后，反方向移动相当于Y 轴移动距离后，再感知Y 轴
Home传感器为止反方向移动。
5. 然后如下图显示 Skew 信息，问是否适用该值。
6. 点击< 是(Y)>按钮，则按照适用的 Skew信息设备重新执行初始化。
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Machine Calibration
14.3.3. Fiducial Camera Scale(基准照相机测量 )
Calibration的大多是 Fiducial Camera 进行利用。因此首先要执行Fiducial camera 周期
校正。
基准相机未进行校正时，剩下的按钮不会被激活。
Fiducial Camera Scale Calibration结束后，在“Calibration” 窗口不显示 <3.Fiducial
Camera Scale>按钮。