DECAN_S1_Administrator′s_Guide(Chi_Ver1.6).pdf - 第404页
14-38 Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide 14.3.6. X-XY Compensation 为了补偿 X 轴移 动时发生的 XY 误差而执行。 如果 Thermal Mapping 及 Gantry Mapping 已被激活 时， 为 了执行 X-XY Compensa tion 强制性的让 Mapping 处于非激活 (…
14-38
Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide
14.3.6. X-XY Compensation
为了补偿X轴移动时发生的XY 误差而执行。如果Thermal Mapping及 Gantry
Mapping 已被激活时，为了执行X-XY Compensation强制性的让Mapping 处于非激活
(Disable)状态。
注 意 X-XY Compensation在设备出厂之前在工厂执行。为了执行此
过程必须需要专用校正 Tool。
一般情况下此过程为进行Skip后，请执行后续过程的校正。
图
14.11 “X-XY Compensation”
对话框
Mode 选项 按钮
选择执行相应过程的模式。
<Calibration(校正)> 选项 按钮
以校正模式执行X-XY Compensation后反应其结果值。
<Measure(测量)> 选项 按钮
以测定模式执行X-XY Compensation后不反应结果值。为测定Y 轴故障时选
择。
<Gantry(双悬臂)> 组合框
Gantry 1(臂1)
在StationF2中用 校正 Tool 进行校正时，