DECAN_S1_Administrator′s_Guide(Chi_Ver1.6).pdf - 第536页

16-13 Diagnosis( 诊断 ) 注 意 真空过滤器 (Vacuum Filter) 的清扫 越是不良， 越会提早出现破坏 真空 (Vacuum Off) 的现象。 如下图所示， 以平均值为基准， 如果 结果值偏布于左侧就更换真空过 滤器。 否则， 电磁阀会受损而最终影响到设备性能 ( 真空过滤器 ： 更换周 期 6 个月 ) 。  <Close> 按钮 关闭对话窗口。