DECAN_S1_Administrator′s_Guide(Chi_Ver1.6).pdf - 第437页
14-70 Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide 4. 正常结束对所有 磁头的校正， 则显示如下结果值。 如下图显示结果值。 点击 <Update> 按钮。 结果值在 System Setup 菜单的 Camera 对话框中可以 确认。
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Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide
4. 正常结束对所有磁头的校正，则显示如下结果值。如下图显示结果值。点击
<Update>按钮。
结果值在System Setup菜单的Camera 对话框中可以确认。
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Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide
14.3.8.9. Fly to Fix Camera & Fly Runout Offset Calibration
为了补偿在飞行相机部件识别后贴装时因部件识别高度和贴装高度不同而发生的偏
移。
此时发生的Offset的原因为轴的弯曲、 Run-Out等。与贴装高度相同的基准相机的识
别高度和飞行相机的识别高度值，根据角度进行补正。
执行Calibration之前，需先确认ANC 1号孔中是否已安装 CNT20喷嘴。
下面是 Fly to Fix Offset 的校正步骤。
1. 未安装CNT20 喷嘴时，点击<Nozzle Prepare>按钮后，请在ANC 1号孔中手动插
入CNT20 喷嘴。
2. 选择<Automatic Next(自动下一步)> 校验框后，点击<15. Fly to Fix Offset> 按
钮，则对选择的 Gantry 自动执行校正。
3. 校正首先旋转45度校正 Tool 的同时用飞行相机识别校正 Tool 底面的Fiducial
Mark 2点。之后把校正 Tool 位于ANC 顶面的校正 Tool 位置后，用基准相机识别
校正 Tool 上面的Fiducial Mark 2点。
之后，重新Pick 旋转90度放置于此位置后，用基准相机识别校正 Tool 上面的
Fiducial Mark 2点。用此方法对一个Head以90度为单位进行旋转测量0 度、90
度、180度、270度的四个方向。