DECAN_S1_Administrator′s_Guide(Chi_Ver1.6).pdf - 第410页

14-43 Machine Calibration 14.3.8.1. Fix Camera Calibrati on (Scale & Rotation & Position) 针对 Fix1 Camera 的 Scale(um/pixel) 、 Rotation(deg) 及 Position(mm) 实行校准 (Calibration) 。 为了校准 Fix Camera ， 需要使用另行制 作的 Fid ucia…

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Machine Calibration
14.3.8.1. Fix Camera Calibration (Scale & Rotation & Position)
针对Fix1 Camera 的Scale(um/pixel)、Rotation(deg)及Position(mm)实行校准
(Calibration)。为了校准Fix Camera，需要使用另行制作的Fiducial Mark 治具(CNT20
Nozzle)。
下面是 Fix Camera 的校正步骤。
1. 点击<Nozzle Prepare> 按钮。
2. 点击< 确认> 按钮。
3. 为了消除所有喷嘴手动低下头于 Z 轴<Next>按钮，连接到头部。
那么，Head Assembly移动到设备指定的位置后，拉下所有的 Z轴。此时，请手动
除去所有已贴装的吸嘴。