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Rev1.0 动作说明书 6-7 ５． 贴装时的真空和空气压力问题 現象 原因 処置 发生 XY 、 θ 偏斜 （基板全体发生） ※ 喷射器规格 真空机故障造成真空压力降低。 真空压力降低的话，元件吸附力减弱，则发生 吸附错误，元件掉落，激光测定异常等，使贴 装精度恶化。 VAC 检测器进行检查，如果贴 装头侧达到真空压力在 － 600mmHg 以下时（或发生 错误时），检查配管的空气漏 气。如果无漏气，请更换。 发生 XY 、 θ 偏…
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现象 原因 处理
发生 XY 偏斜（基板全
体发生）（集中特定贴
装头）
Z 轴停止发生异常。Z 轴皮带张力变化，Z 轴球
螺丝阻力子嗯大等会造成 Z 轴负荷变化，影响
到吸附后激光高度上升和贴装 Z 下降时 Z 轴，
使测定正确性和贴装时的震动面精度恶化。
确认同步皮带 Z 的张力。张力
值 OK 时，在行程权舆确认阻
力有无不均，如果有问题时，
调整球螺丝和 Z 皮带轮的轴
环。
发生 XY、θ 偏斜（基板
全体发生）（集中特定
吸嘴）
吸嘴滑动装置的 XYθ 松动。 更换吸嘴。
发生 θ 偏斜（基板全体
发生）
同步皮带 θ 的张力不适当。张力过高，增加 θ
轴的负担，影响停止，张力过低也影响。
重新调整张力。
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５．贴装时的真空和空气压力问题
現象 原因 処置
发生 XY、θ 偏斜
（基板全体发生）
※ 喷射器规格
真空机故障造成真空压力降低。
真空压力降低的话，元件吸附力减弱，则发生
吸附错误，元件掉落，激光测定异常等，使贴
装精度恶化。
VAC 检测器进行检查，如果贴
装头侧达到真空压力在
－600mmHg 以下时（或发生
错误时），检查配管的空气漏
气。如果无漏气，请更换。
发生 XY、θ 偏斜
（基板的全体发生）
真空电磁阀的故障。
贴装时真空破坏四，真空电磁阀不动作，使动
作变迟，发生元件吸附错误，元件跳起，激光
测定异常。
用 VAC 检测器进行检查，如果
贴装头压力传感器的自然破坏
时间超过机器保存值的 1.5 倍
则（或发生错误时）进行更换。
发生 XY、θ 偏斜
（基板的全体发生）
空气电磁阀的故障。
贴装时真空破坏四，空气电磁阀不动作，使动
作变迟，发生元件吸附错误，元件跳起，激光
测定异常。
以 VAC 校准进行检测，贴装头
侧压力传感器的正压冲击时间
与机床储存值相差超过一定值
而发生错误时，要更换。
发生 XY、θ 偏斜
（基板的全体发生）
贴装头部过滤器堵塞。
元件吸附力降低，发生吸附错误，元件掉落，
激光测定异常等，贴装精度恶化。
用 VAC 检测器进行检查，如果
自然破坏时间超过机器保存值
的 2 倍则（或发生错误时）进
行更换。
发生 XY、θ 偏斜
（基板的全体发生）
过滤器、空气软管堵塞造成真空值降低。 Vac-CAL 的压力传感器到达真
空时间和贴装头侧压力传感器
到达真空时间的差如果超过机
器保存值的 2 倍以上，请确认
空气软管是否堵塞。如果没无
堵塞请更换过滤器。
发生 XY、θ 偏斜
（基板的全体发生）
※ 真空泵规格
真空泵内过滤器堵塞。
真空压力降低的话，元件吸附力减弱，则发生
吸附错误，元件掉落，激光测定异常等，使贴
装精度恶化。
VAC 检测器进行检查，如果贴
装头侧达到真空压力在－
550mmHg 以下时（或发生错
误时），检查配管的空气漏气。
如果无漏气，检查一下本体正
面负压表的值是否为-80kPa 以
下，如低于该值则更换过滤器。
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６．
XY 轴的问题
现象 原因 处理
发生 XY 偏斜（基板全
体发生）
XY 停止时发生异常。
此时如果进行贴装的话，贴装将不一致。
确认伺服驱动器的 XY 增益值
是否输入得正确。
机械控制的参数 XY 和 Ｙ 的
PTP 高速中的各行程的贴装待
机时间的［0］～［11］全部输入
100msec 进行生产。如果恢复
正常，再确认同步皮带的张力
值。