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Rev1.0 动作说明书 5-15 ⑤ 真空值的换算 A/D 变换的值换算成真空值的方法如下。 ５Ｖ １Ｖ ０ １９０ －７６０レベル ＊ Ａ／Ｄの読込み値Ｄｐに対する、バキューム値Ｐの算出方法 Ｐ＝－（（Ｄｐ－５１）×７６０／２０４ ）［レベル］ ０～５Ｖ －－－→ ０ ～ ２５５（ＦＦｈ） １～５Ｖ －－－→ ５ ２～２５５＝２０４ ０～－７６０レベル －－－→ ５２～２５５ 最小分解能＝７６０／２０４≒３．７２５［レベル］ 等级 …
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5-14
３、 ＤＩＰＳＷ２（８ｂｉｔ）
1
2
3
4
5
6
7
8
ON
Bit4～1；基板組機能REV.設定
Bit8～5；基板ﾊﾟﾀｰﾝREV.設定
＊ON側；1、OFF側；0
＊基板REV.管理表に従い設定する。
ON 侧：1；OFF 侧：0
根据电路板 REV.管理表设定。
设定电路板组功能 REV.
设定电路板图案 REV.
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5-15
⑤真空值的换算
A/D 变换的值换算成真空值的方法如下。
５Ｖ
１Ｖ
０
１９０
－７６０レベル
＊ Ａ／Ｄの読込み値Ｄｐに対する、バキューム値Ｐの算出方法
Ｐ＝－（（Ｄｐ－５１）×７６０／２０４ ）［レベル］
０～５Ｖ －－－→ ０～２５５（ＦＦｈ）
１～５Ｖ －－－→ ５２～２５５＝２０４
０～－７６０レベル －－－→ ５２～２５５
最小分解能＝７６０／２０４≒３．７２５［レベル］
等级最小分辨率
等级
等级
对A/D的读入值Dp的真空值P的计算方法
等级
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5-16
⑥LED 显示灯的意义如下。
LD1（红）：L1-Z 轴减速传感器启动则亮灯。
LD2（红）：L2-Z 轴减速传感器启动则亮灯。
LD3（红）：L3-Z 轴减速传感器启动则亮灯。
LD4（红）：L4-Z 轴减速传感器启动则亮灯。
LD5（红）：L5-Z 轴减速传感器启动则亮灯。
LD6（红）：L6-Z 轴减速传感器启动则亮灯。
LD7（红）：R1-Z 轴减速传感器启动则亮灯。
LD8（红）：全部 Z 轴减速传感器启动则亮灯。（XY 轴可动作）
LD9（红）：DC24V 电源接通则亮灯。