FX-2_动作说明书.pdf - 第23页
Rev1.0 动作说明书 3-10 3-3. 基板传送 6 1 7 12 4 16 2 14 15 3 13 8 9 10 5 11 1． IN 马达 （ 感应马达 ） 2． CENTER 马达 （ 步进马达 ） 3． CENTER 宽度调整马达 ( 步进马达 ) 4． IN/OUT 宽度调整马达 ( 步进马达 ) 5． OUT 马达 （ 感应马达 ） 6． IN 传感器 7． WAIT 传感器 8． STOP 传感器 9． C ・ O…
Rev1.0
动作说明书
3-9
3-2-5．支撑台的原点复位
原点復帰方向
原点復帰速度
原点
モータ速度
クリープ速度
ＮＥＡＲ
原点
原点复位方向
原点复位速度
马达速度
夹钳速度
把宽度调整轴检测出 NEAR 传感器的位置设定为－48mm。
3-2-6．宽度调整马达的原点复位
原点復帰方向
原点復帰速度
原点
モータ速度
クリープ速度
ＮＥＡＲ
原点
原点复位方向
原点复位速度
马达速度
夹钳速度
把宽度调整轴检测出 NEAR 传感器的位置设定为 360mm。
Rev1.0
动作说明书
3-10
3-3. 基板传送
6
1 7
12
4
16
2
14
15
3
13
8
9
10
5
11
1． IN 马达（感应马达）
2． CENTER 马达（步进马达）
3． CENTER 宽度调整马达(步进马达)
4． IN/OUT 宽度调整马达(步进马达)
5． OUT 马达（感应马达）
6． IN 传感器
7． WAIT 传感器
8． STOP 传感器
9． C・OUT 传感器
10． C・OUT2 传感器
11． OUT 传感器
12． IN 检查缸筒
13． 止动器
14． 支撑台马达(步进马达)
15． 支撑台变换器
16． PWB 检测传感器
传送方向
Rev1.0
动作说明书
3-11
3-3-1．CENTER 马达
传送方向在左→右的方向时，马达转动方向为 CCW。
速度分布图以三角驱动(台形驱动)来进行的。
速度分为高速 400mm/s，中速 300 mm/s，低速仅在预备传送以及再次钳夹动作时使用。
1 指令单位为 1μm，各速度分类值如下表所示。
速度 加速度 加速时间
(mm/s) (mm/s2) (ms)
高速 400.0 1008.0
397.0
中速 300.0 1008.0 298.0
低速 56.0 1008.0 55.6