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Rev1.0 动作说明书 3-11 3-3-1 ． CENTER 马达 传送方向在左 → 右的方向时，马达转动方向为 CCW 。 速度分布图以三角驱动 ( 台形驱动 ) 来进行的。 速度分为高速 400mm/s ，中速 300 mm/s ，低速仅在预备传送以及再次钳夹动作时使用。 1 指令单位为 1 μ m ，各速度分类值如下表所示。 速度 加速度 加速时间 (mm/s) (mm/s2) (ms) 高速 400.0 1008.0 397…
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3-3. 基板传送
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1． IN 马达（感应马达）
2． CENTER 马达（步进马达）
3． CENTER 宽度调整马达(步进马达)
4． IN/OUT 宽度调整马达(步进马达)
5． OUT 马达（感应马达）
6． IN 传感器
7． WAIT 传感器
8． STOP 传感器
9． C・OUT 传感器
10． C・OUT2 传感器
11． OUT 传感器
12． IN 检查缸筒
13． 止动器
14． 支撑台马达(步进马达)
15． 支撑台变换器
16． PWB 检测传感器
传送方向
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3-11
3-3-1．CENTER 马达
传送方向在左→右的方向时，马达转动方向为 CCW。
速度分布图以三角驱动(台形驱动)来进行的。
速度分为高速 400mm/s，中速 300 mm/s，低速仅在预备传送以及再次钳夹动作时使用。
1 指令单位为 1μm，各速度分类值如下表所示。
速度 加速度 加速时间
(mm/s) (mm/s2) (ms)
高速 400.0 1008.0
397.0
中速 300.0 1008.0 298.0
低速 56.0 1008.0 55.6
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3-12
3-3-2．支撑台
支撑台、机械行程以及有效行程
基板上面高さ
0.5mm
5mm
有効ストローク 52.5mm
MS パラメータ入力
２ mm
7mm
40mm( 最大 )
最大基板下制限
メカストローク 59mm
④原点高さ位置
Ｂ(原点センサ ON 方向)
Ａ(原点センサ OFF 方向)
エンコーダ零相検出
③ソフト下方向リミット位置
①メカ下方向リミット位置
②メカ上方向リミット位置
基板上面高度
机械上方向限制位置
机械下方向限制位置
软件下方向限制位置
变换器零相检测
原点高度位置
B(原点传感器ON方向)
A(原点传感器O FF方向)
机械行程5 9mm
有效行程5 2.5 mm
输入M S参数
最大 基 板 下限 制
(最大)
①：下方向的机械界限高度
②：上方向的机械界限高度
③：是有效行程下限位置，基板送入、排出时的待机位置。
有效行程上限位置是从③的高度上升 52.5mm 的位置，与②高度相同。
有效行程∶生产中可以驱动的行程范围
（注）基板下限制可以在从 5mm 起 40mm 的范围，以１ mm 单位进行设定。
默认的基板下限制为 40 ｍｍ。
（注）③的有效行程下限高度，根据基板下限而变化。
因此，有效行程也按下式变化。
有效行程(mm) ＝基板下限(mm)＋5＋7＋0.5
基板送入·送出时的待机高度也同样变化。
以有效行程上限为基准高度
待机高度(mm)＝基板下限(mm)＋5＋7