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Rev1.0 动作说明书 5-22 5-2-2 ． Z ， θ 轴的控制方式 Z 、 θ 轴的电动机控制采用半闭环控制方式，在 Z 轴是进行元件的贴装及吸取等上下动作，在 θ 轴是进行元 件激光识别及角度校正等旋转动作。 Z 轴及 θ 轴的控制组成图如下所示。 LNC 贴装头用 Z θ 轴 图 ５－２－４ LNC 贴装头用 Z θ 轴 方块图 位置 控制板 CPCI 接口 SSCNET Ⅲ 光通信 SSCNET Ⅲ 光通信 SSCNET…
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动作说明书
5-21
② YB 轴
エンコーダ入力
Ｉ／Ｆユニット
ﾓｰﾀ駆動電流
U、V、W 相
スケールヘッド
ステージ
ベルト マグネスケール
リニアエンコーダ信号
（マグネスケール）
ロータリーエンコーダ信号
サーボモータ
位置制御
信号
位置フィード
バック信号
ポジションボード ＹＢ軸 ドライバ
SSCNETⅡ
位置接口板
位置控制
信号
YB轴驱动器
位置供料
反馈信号
线性变换器信号
(磁标尺)
旋转变换器信号
伺服马达
变换器输入
I/F装置
马达驱动电流
台
标尺头
皮带
磁标尺
图５－２－２
YB 轴全交叉减弱方式
③ YA 轴
ﾓｰﾀ駆動電流
U、V、W 相
ボールネ
ジ
ポジションボード ＹＡ軸 ドライバ
SSCNETⅡ
位置制御
ロータリーエンコーダ信号
ステージサーボモータ
信号
位置接口板
位置控制
信号
YA轴驱动器
伺服马达
旋转变换器信号
马达驱动电流
台
球螺丝
图５－２－３
YA 轴的半交叉减弱方式
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动作说明书
5-22
5-2-2．Z，θ 轴的控制方式
Z、θ轴的电动机控制采用半闭环控制方式，在 Z 轴是进行元件的贴装及吸取等上下动作，在 θ 轴是进行元
件激光识别及角度校正等旋转动作。
Z
轴及θ轴的控制组成图如下所示。
LNC
贴装头用 Zθ轴
图５－２－４
LNC 贴装头用 Zθ轴 方块图
位置 控制板
CPCI
接口
SSCNETⅢ
光通信
SSCNETⅢ
光通信
SSCNETⅢ
光通信
4 轴 1 体
放大器
MR-MD100
UVW 相 出
编码器输出
（三菱串行）
θ 机
Z
机
*A
4 轴 1 体
放大器
*A
4 轴 1 体
放大器
*A
UVW 相 出
编码器输出
（三菱串行）
θ 机
Z
机
UVW 相 出
编码器输出
（三菱串行）
UVW 相 出
编码器输出
（三菱串行）
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5-23
5-2-3．基板传送部的控制方式
①
CENTER 马达
传送基板的 CENTER 使用步进马达，进行定速控制。
② 支撑台马达
进行支撑台的上下移动的支撑台马达用步进马达和变换器控制定位。
③ 基板传送宽度自动调整马达
传送基板时自动进行调整的基板传送宽度自动调整马达，用步进马达和变换器进行控制定位。
CENTER 宽度自动调整为标准，IN／OUT 宽度自动调整为选项。