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Rev1.0 动作说明书 5-20 5-2 ．马达的控制方式 5-2-1 ． XY 轴的控制方式 对 X、YB 轴采用全闭环方式的控制，对 YA 轴采用半闭环方式。 下图为各轴方式的方块图。 ① X 轴 エンコー ダ入力 Ｉ／Ｆユ ニッ ト モータ駆動電流 U、V、W 相 リニアモー タ スケールヘッド 可動子 リニアモー タ 固定子 マグネス ケール 信号 位置フィ ード バック信号 リニアエンコーダ信号 （マグネ スケー ル） ポジ…
Rev1.0
动作说明书
5-19
5-1-12．ADVME2006 线路板
本线路板是控制传送系统之步进电动机（
CENTER 电动机• 支承台电动机• CENTER 宽度自动调整电动机
•
IN/OUT 宽度自动调整电动机）的线路板，具有以下的功能。
（1） 步进电动机的控制脉冲输出： CENTER 电动机• 支承台电动机
CENTER
宽度自动调整电动机• IN/OUT 宽度自动调整
（2） NEAR 传感器输入： 支承台电动机• CENTER 宽度自动调整电动机
IN/OUT
宽度自动调整电动机
（3） 编码器信号输入： 支承台电动机• CENTER 宽度自动调整电动机
IN/OUT
宽度自动调整电动机
（4） 电动机激磁 OFF 信号输出 ： CENTER 宽度自动调整电动机• IN/OUT 宽度自动调整
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动作说明书
5-20
5-2．马达的控制方式
5-2-1．XY 轴的控制方式
对 X、YB 轴采用全闭环方式的控制，对 YA 轴采用半闭环方式。
下图为各轴方式的方块图。
① X 轴
エンコーダ入力
Ｉ／Ｆユニット
モータ駆動電流
U、V、W 相
リニアモータ
スケールヘッド
可動子
リニアモータ
固定子
マグネスケール
信号
位置フィード
バック信号
リニアエンコーダ信号
（マグネスケール）
ポジションボード ＹＢ軸 ドライバ
SSCNETⅡ
位置制御
位置接口板
位置控制
信号
YB轴驱动器
线性变换器信号
(磁标尺)
马达驱动电流
线性马达
转子
线性马达
定子
标尺头
磁标尺
位置供料
反馈信号
变换器输入
I/F装置
图５－２－１
X 轴的全交叉减弱方式
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5-21
② YB 轴
エンコーダ入力
Ｉ／Ｆユニット
ﾓｰﾀ駆動電流
U、V、W 相
スケールヘッド
ステージ
ベルト マグネスケール
リニアエンコーダ信号
（マグネスケール）
ロータリーエンコーダ信号
サーボモータ
位置制御
信号
位置フィード
バック信号
ポジションボード ＹＢ軸 ドライバ
SSCNETⅡ
位置接口板
位置控制
信号
YB轴驱动器
位置供料
反馈信号
线性变换器信号
(磁标尺)
旋转变换器信号
伺服马达
变换器输入
I/F装置
马达驱动电流
台
标尺头
皮带
磁标尺
图５－２－２
YB 轴全交叉减弱方式
③ YA 轴
ﾓｰﾀ駆動電流
U、V、W 相
ボールネ
ジ
ポジションボード ＹＡ軸 ドライバ
SSCNETⅡ
位置制御
ロータリーエンコーダ信号
ステージサーボモータ
信号
位置接口板
位置控制
信号
YA轴驱动器
伺服马达
旋转变换器信号
马达驱动电流
台
球螺丝
图５－２－３
YA 轴的半交叉减弱方式