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Rev1.0 动作说明书 5-14 ３、 ＤＩＰＳＷ２（８ｂｉｔ） 1 2 3 4 5 6 7 8 ON B i t4～1；基板組機能R EV .設定 B i t8～5；基板ﾊﾟ ﾀｰﾝ R EV .設定 ＊O N 側；1、OFF 側；0 ＊基板R E V . 管理表に 従い設定す る。 ON 侧： 1 ； OFF 侧： 0 根据电路板 REV. 管理表设定。 设定电路板组功能 REV. 设定电路板图案 REV.
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5-13
④DIP SW 的说明
各 DIP SW 的意义如下。
１、 ＤＩＰＳＷ４（４ｂｉｔ）
1
2
3
4
ON
Bit 3 2 1
L L L ；A/D変換ﾃﾞｰﾀ手動設定時Z1ﾊﾞｷｭｰﾑﾚﾍﾞﾙ選択
L L H ；A/D変換ﾃﾞｰﾀ手動設定時Z2ﾊﾞｷｭｰﾑﾚﾍﾞﾙ選択
L H L ；A/D変換ﾃﾞｰﾀ手動設定時Z3ﾊﾞｷｭｰﾑﾚﾍﾞﾙ選択
L H H ；A/D変換ﾃﾞｰﾀ手動設定時Z4ﾊﾞｷｭｰﾑﾚﾍﾞﾙ選択
H L L ；A/D変換ﾃﾞｰﾀ手動設定時Z5ﾊﾞｷｭｰﾑﾚﾍﾞﾙ選択
H L H ；A/D変換ﾃﾞｰﾀ手動設定時Z6ﾊﾞｷｭｰﾑﾚﾍﾞﾙ選択
H H L ；A/D変換ﾃﾞｰﾀ手動設定時Z7ﾊﾞｷｭｰﾑﾚﾍﾞﾙ選択
H H H ；A/D変換ﾃﾞｰﾀ手動設定時Z7ﾎﾟｲﾝﾄｾﾝｻﾚﾍﾞﾙ選択
Bit 4
L ；A/D変換ﾃﾞｰﾀ手動設定
H ；A/D変換ﾃﾞｰﾀ自動設定
＊ON側；L、OFF側；H
＊通常設定は、全てOFF側
２、 ＤＩＰＳＷ１（８ｂｉｔ）
1
2
3
4
5
6
7
8
ON
Bit7～1；各Z軸の減速ｾﾝｻ有効/無効設定
Bit 1 ；L1、L；無効、H；有効
2 ；L2、L；無効、H；有効
3 ；L3、L；無効、H；有効
4 ；L4、L；無効、H；有効
5 ；L5、L；無効、H；有効
6 ；L6、L；無効、H；有効
7 ；R1、L；無効、H；有効
Bit 8
L ；全軸ﾊﾞｷｭｰﾑ/ﾌﾞﾛｰ繰り返し動作
H ；通常動作
＊ON側；L、OFF側；H
＊通常設定は、以下の通り
FX-2
1
2
3
4
5
6
7
8
ON
A/D 变换数据手动设定时选择 Z1 真空电平
A/D 变换数据手动设定时选择 Z2 真空电平
A/D 变换数据手动设定时选择 Z3 真空电平
A/D 变换数据手动设定时选择 Z4 真空电平
A/D 变换数据手动设定时选择 Z5 真空电平
A/D 变换数据手动设定时选择 Z6 真空电平
A/D 变换数据手动设定时选择 Z7 真空电平
A/D 变换数据手动设定时选择 Z7 点传感器电平
A/D 变换数据手动设定
A/D 变换数据自动设定
ON 侧：L；OFF 侧：H
通常的设定均为 OFF 侧
设定各 Z 轴的减速传感器有效
/
无效
L1、L：无效；H：有效
L2、L：无效；H：有效
L3、L：无效；H：有效
L4、L：无效；H：有效
L5、L：无效；H：有效
L6、L：无效；H：有效
R1、L：无效；H：有效
全部轴真空
/
鼓风反复动作
通常动作
ON 侧：L；OFF 侧：H
通常设定如下
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5-14
３、 ＤＩＰＳＷ２（８ｂｉｔ）
1
2
3
4
5
6
7
8
ON
Bit4～1；基板組機能REV.設定
Bit8～5；基板ﾊﾟﾀｰﾝREV.設定
＊ON側；1、OFF側；0
＊基板REV.管理表に従い設定する。
ON 侧：1；OFF 侧：0
根据电路板 REV.管理表设定。
设定电路板组功能 REV.
设定电路板图案 REV.
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5-15
⑤真空值的换算
A/D 变换的值换算成真空值的方法如下。
５Ｖ
１Ｖ
０
１９０
－７６０レベル
＊ Ａ／Ｄの読込み値Ｄｐに対する、バキューム値Ｐの算出方法
Ｐ＝－（（Ｄｐ－５１）×７６０／２０４ ）［レベル］
０～５Ｖ －－－→ ０～２５５（ＦＦｈ）
１～５Ｖ －－－→ ５２～２５５＝２０４
０～－７６０レベル －－－→ ５２～２５５
最小分解能＝７６０／２０４≒３．７２５［レベル］
等级最小分辨率
等级
等级
对A/D的读入值Dp的真空值P的计算方法
等级