RX-7使用手册.pdf - 第262页
第 4 章 操作 篇 4- 9. 手动控制 184 确认供料器 ・ 台架的版本 信息 触摸 [ 版本信息表示 ] 按钮后， 将显示 [ 供料器 ・ 台 架的版本信息 ] 对话框 ，用于确认台架及台架 上已安装的 供料器版本信息 。 记号 名称 说明 (a) 供料器信息列表 显示台架上已安装的供料器版 本信息。 • # ：显示供料器 的供给位置号 • 种类 ： 显示 供料器的种类 • 基板： 显示 供料器基板的参数 版本 • 固件 ：…
第 4 章 操作篇
4-9. 手动控制
183
4
1
按
[
手动控制
] - [
台架控制
]
的顺序触摸。
2
使一次性更换台车上升
/
下降。
上升一次性更换台车：触摸[一次性更换台车上升]。
下降一次性更换台车：触摸[一次性更换台车下降]。
第 4 章 操作篇
4-9. 手动控制
184
确认供料器・台架的版本信息
触摸[版本信息表示]按钮后，将显示[供料器・台架的版本信息]对话框，用于确认台架及台架上已安装的
供料器版本信息。
记号
名称
说明
(a)
供料器信息列表 显示台架上已安装的供料器版本信息。
•
#
：显示供料器的供给位置号
•
种类：显示供料器的种类
•
基板：显示供料器基板的参数版本
•
固件：显示供料器基板固件的当前版本
•
识别基板数据：显示供料器基板的基板识别
ID
•
序号：显示供料器基板的个别序列号
•
接头传感器：显示接头传感器的有无，设置处于故障时的状态。
如设置为
[
在故障
]
，则不进行利用接头传感器的搭接动作。
无法取得各种信息时，将显示“***”。
(b)
送料器台架信息列表 显示台架的版本信息。
•
种类：显示台架的种类
•
基板：显示台架基板的参数版本
•
固件：显示台架基板固件的当前版本
•
识别基板数据：显示台架基板的基板识别
ID
•
序号：显示台架基板的个别序列号
无法取得各种信息时，将显示“***”。
(c)
再取得 重新取得台架及供料器的版本信息，更新画面。
(d)
关闭
关闭
[
供料器・台架的版本信息
]
对话框。
注意
为了使用本功能，
ETF
供料器的固件版本需要为
Rev.26
以上，且已正确设定序列号。台架需
要已装配
Rev.1
以上的固件。
第 4 章 操作篇
4-9. 手动控制
185
4
4-9-4. 传送控制
触摸[手动控制]菜单的[传送控制]，显示[传送控制]画面。
[传送控制]画面仅在用户级别为[MAINTENANCE（维护）]时，才会显示。
记号
名称
说明
(a)
基板有无确认 执行传送通道上的基板有无确认。
与[传送单元图像]的选择无关，对所有站点的基板有无进行确认。
(b)
基板通过传感器
自动校准（示教）
当基板通过传感器的误动作发生传送驱动错误时，进行基板通过传感
器的自动调整。
（注意）请务必确认装置内的传送上没有基板或传感器的遮蔽物后，
再进行操作。
(c)
传送原点回复 传送原点发生错误时，要通过传送的原点回复动作取得正确的传送宽
度。
与[传送单元图像]的选择无关，对所有站点的原点位置进行测定。
(d)
传送单元
图像
显示本机内的传送状态及基板的位置。
使用橙色覆盖对操作对象站点进行选择。
(e)
搬入 基板从上游装置搬入。
(f)
交付 基板从上游站点交付到下游站点。
(g)
重夹 在对象站点内进行基板的重新定位动作，重夹基板。
(h)
搬出 针对在[传送单元图像]中选择的站点，将基板向下游装置搬出。
(i)
至左 针对在 [传送单元图像]中选择的站点，使传送旋转，将基板向左方向
移动。
要停止旋转时，触摸
[
停止
]
按钮。
(j)
停止 针对在 [传送单元图像]中选择的站点，使传送的旋转动作停止。