XP142 系统手册.pdf - 第199页
第 1 章 固有值具體內容 第 6 部 XP-142E 系統手冊 6-1-8 Edition 1.0 _NotNzlPosOffset 0 ： 1 ○ [ 說明 ] 指定 是否獲得 干擾信號 位 置修 正 0 ： 獲 取 1 ： 未 獲 取 [ 標準設定值 ]0 ( 本設定被忽視 ) _VcmBreakChkT ime × [ 說明 ] 真 空 破壞 確認感測器等 待 時間的設定 [ 標準設定值 ]0
第 6 部第1 章 固有值具體內容
Edition 1.0 6-1-7 XP-142E 系統手冊
_PCFtpUse 0：1 ○
[說明] 遠程控制文件的指定。
0：無效
1：有效
[標準設定值]0
_TemplateFind 0：1：2：3 ○
[說明]Vision Type18的範本檔案名搜索條件的指定。
0，1：零件 No.優先
2：零件類型優先
3：只參照零件類型
[標準設定值]3
_MainLifterEndTimer ○
[說明] 升降板上升等待時間(msec)的設定。
(在基板夾住完成前，取入影像時使用)
[標準設定值] 350
_FiducialLampOnTimer 0~1000 ○
[說明] 燈亮後等待時間(msec)的設定。(在定位相機亮度不穩定狀態下取入影像時使用)
[標準設定值]0
_MainStArrvFDChkFlag 0：1 ×
[說明] 通過定位相機確認基板到達的指定。(未使用)
[標準設定值]0
_ThermalOffsetTime ○
[說明] 在進行一塊基板生產時，每隔幾秒決定是否執行熱膨脹補正的時間設定。
不進行熱膨脹補正時的設定為 0。
設定值(msec)
[標準設定值]0
_ThermalOffsetMark 0：1 ○
[說明] 熱膨脹補正定位點的指定。
0：定位標識
1：機器上位置補正定位點
[標準設定值]0
第 1 章 固有值具體內容 第 6 部
XP-142E 系統手冊 6-1-8 Edition 1.0
_NotNzlPosOffset 0：1 ○
[說明] 指定是否獲得干擾信號位置修正
0： 獲取
1： 未獲取
[標準設定值]0(本設定被忽視)
_VcmBreakChkTime ×
[說明] 真空破壞確認感測器等待時間的設定
[標準設定值]0
第 6 部第1 章 固有值具體內容
Edition 1.0 6-1-9 XP-142E 系統手冊
1.3 SERVO_OFST
_targetOfst_X ＊
[說明] 絕對值解碼器的修正量(mm)的設定。
必須重新啟動機器後設定值才有效。
[標準設定值] 設定固有值測量結果
_targetOfst_Y ＊
[說明] 絕對值解碼器的修正量(mm)的設定 。
必須重新啟動機器後設定值才有效。
[標準設定值] 設定固有值測量結果
_targetOfst_Z ＊
[說明] 絕對值解碼器的修正量(mm) 的設定。
必須重新啟動機器後設定值才有效。
[標準設定值] 設定固有值測量結果
_targetOfst_Q ＊
[說明] 絕對值解碼器的修正量(mm) 的設定。
必須重新啟動機器後設定值才有效。
[標準設定值] 設定固有值測量結果
_targetOfst_R ＊
[說明] 絕對值解碼器的修正量(mm) 的設定。
必須重新啟動機器後設定值才有效。(未使用)
[標準設定值] 設定固有值測量結果
_targetOfst_T ＊
[說明] 絕對值解碼器的修正量(mm) 的設定。
必須重新啟動機器後設定值才有效。
[標準設定值] 0(本設定被忽視)
_targetOfst_U ＊
[說明] 絕對值解碼器的修正量(mm) 的設定。
必須重新啟動機器後設定值才有效。
[標準設定值]0(本設定被忽視)
_targetOfst_F ＊
[說明] 絕對值解碼器的修正量(mm) 的設定。
必須重新啟動機器後設定值才有效。(未使用)
[標準設定值] 設定固有值測量結果