MEC-SFAB-005S0SmartFAB机械手册.pdf - 第11页
MEC-SFAB-005S0 目录 SmartFAB 机械手册 v 6.3 搬运轨道皮带清洁器 ..... ............... 136 6.3.1 更换周期 ................................ 136 6.3.2 更换方法 ................................ 136 6.4 基准板部挡块螺栓 ....... ............... 137 6.4.1 更换周…
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iv SmartFAB 机械手册
5.8.1 清扫空气调节器 ........................... 93
5.8.2 清扫基座相机镜头 ......................... 94
5.8.3 清扫机械手相机盖罩玻璃 ................... 96
5.8.4 给 Tool 更换器驱动部加油 .................. 97
5.8.5 更换线性马达冷却风扇过滤器 ............... 97
5.9 每 12000 小时的作业 ...................... 98
5.9.1 清扫湿气分离器 ........................... 98
5.9.2 清扫真空泵过滤器 ......................... 99
5.9.3 给 sH01 工作头加油 ....................... 100
5.9.4 给 sH02 工作头加油 ....................... 102
5.9.5 给 sG04 工作头加油 ....................... 104
5.9.6 给 sJD 工作头加油 ........................ 106
5.9.7 给搬运轨道加油 .......................... 107
5.9.8 点检搬运轨道搬运皮带张力 ................ 110
5.9.9 搬运轨道调整宽度链的点检 ................ 111
5.9.10 给 sMTU-LT2 驱动部加油 .................. 112
5.9.11 点检和调整 sMTU-LT2 皮带张力 ............ 114
5.9.12 sMTU -LT2 料盘托架背面胶片的点检与更换 . 119
5.10 不定期作业 ............................ 121
5.10.1 sH01/sH02 用吸嘴的清扫 ................. 121
5.10.2 sG04 用吸嘴的清扫 ...................... 123
5.10.3 清扫 sMTU-LT2、sMFU 和基座间接插件 ...... 127
5.10.4 点检和更换工作头真空过滤器
＜ sH01/sH02/sG04 工作头＞............... 127
5.10.5 清扫搬运轨道皮带和皮带清洁器 ........... 128
5.10.6 点检和调整搬运轨道 CZ 轴皮带张力 ........ 129
5.10.7 点检和调整搬运轨道搬运马达皮带
和宽度切换马达皮带张力 ................. 130
5.10.8 sJD 工作头的液剂路径清扫 ............... 131
6. 更换损耗品 ............................... 133
6.1 关于损耗品 ............................. 133
6.2 搬运轨道皮带 ........................... 133
6.2.1 更换周期 ................................ 133
6.2.2 更换方法 ................................ 133
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MEC-SFAB-005S0 目录
SmartFAB 机械手册 v
6.3 搬运轨道皮带清洁器 .................... 136
6.3.1 更换周期 ................................ 136
6.3.2 更换方法 ................................ 136
6.4 基准板部挡块螺栓 ...................... 137
6.4.1 更换周期 ................................ 137
6.4.2 更换方法 ................................ 137
6.5 X,Z 轴伺服放大器电池................... 138
6.5.1 电池的种类 .............................. 138
6.5.2 更换周期 ................................ 138
6.5.3 更换方法 ................................ 138
6.6 机械手控制器电池 ...................... 140
6.6.1 电池的种类 .............................. 140
6.6.2 更换周期 ................................ 140
6.6.3 电池的更换方法 .......................... 140
6.7 sJD 工作头接液部....................... 142
6.7.1 更换周期 ................................ 142
6.7.2 准备物品 ................................ 143
6.7.3 更换方法 ................................ 143
6.8 工作头内电路板保险丝 .................. 147
6.8.1 工作头电路板 ............................ 147
6.9 sMTU-LT2 控制器电池.................... 150
6.9.1 电池的种类 .............................. 150
6.9.2 更换周期 ................................ 150
6.9.3 更换方法 ................................ 150
6.10 sMFU 控制器电池....................... 152
6.10.1 电池的种类 ............................. 152
6.10.2 更换周期 ............................... 152
6.10.3 更换方法 ............................... 152
6.11 sMTU-LT2 的 TY 轴和 TZ 轴伺服放大器电池. 154
6.11.1 电池的种类 ............................. 154
6.11.2 更换周期 ............................... 154
6.11.3 更换方法 ............................... 154
6.12 sMTU-LT2 接口电路板保险丝............. 155
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vi SmartFAB 机械手册
6.12.1 更换方法 ............................... 155
6.13 料站托架电路板保险丝 .................. 157
6.13.1 更换方法 ............................... 157
6.14 sMFU 电路板保险丝 ..................... 159
6.14.1 更换方法 ............................... 159
6.15 真空泵吸气阀、排气阀和密封件等 ........ 161
6.15.1 更换周期 ............................... 161
6.15.2 准备物品 ............................... 161
6.15.3 更换方法 ............................... 161
6.16 PC 的控制机构电池 ..................... 170
6.16.1 电池的种类 ............................. 170
6.16.2 更换周期 ............................... 170
6.16.3 更换方法 ............................... 170
6.17 单搬运轨的控制机构电池 ................ 172
6.17.1 电池的种类 ............................. 172
6.17.2 更换周期 ............................... 172
6.17.3 更换方法 ............................... 172
7. 更换零部件 ............................... 177
7.1 更换基座相机 ........................... 177
7.1.1 必要工具 ................................ 177
7.1.2 准备操作 ................................ 177
7.1.3 更换影像处理电路板 ...................... 179
7.1.4 CC-LINK 电路板的更换 .................... 179
7.2 更换冷却风扇 ........................... 180
7.2.1 上部风扇 ................................ 180
7.2.2 控制盘风扇 .............................. 182
8. 测定和调整 ............................... 185
8.1 搬运轨道电路板通过传感器的感度调整 ..... 185
8.1.1 机上调整方法 ............................ 186
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