MEC-SFAB-005S0SmartFAB机械手册.pdf - 第176页
6. 更换损耗品 MEC-SFAB-005S0 162 SmartFAB 机械手册 3. 拆除正面下部的盖罩。 4. 拆除真空泵电源导线的插头与空气 软管。 5. 卸下固定安装真空泵用筋板上的六 角螺栓 （4 个） 。 6. 请把真空泵拉到面前。 7. 握住手柄抬起真空泵，从机内取出 真空泵。 警告 请务必 2 人以上共同作业。不要以不合理的姿势 抬起泵。有可能损伤腰。 警告 泵停止后等待 30 分钟以上，在确认了泵冷却 后，进行作业。…
MEC-SFAB-005S0 6. 更换损耗品
SmartFAB 机械手册 161
6.15 真空泵吸气阀、排气阀和密封件等
将吸气阀、排气阀和密封件等损耗零部件更换成真空泵维修保养套件的新零部件。
6.15.1 更换周期
机器每运转 10,000 小时
6.15.2 准备物品
6.15.3 更换方法
拆下真空泵
1. 从机器上拆除供气单元。
2. 进行机器的关机操作，将总开关设置为 OFF。
DOP-300SA
维修保养套件
吸气阀防干涉橡胶 4
吸气排气阀 12
排气阀座 4
皮碗式密封件 4
垫圈 4
吸气阀座 4
连接软管 1
工具 六角扳手一套 -
转矩扳手 5 mm 内六角扳手
（能够将旋紧转矩设定为
8N·m 的扳手）
十字螺丝刀 No.2
其他 工业用乙醇酒精 擦拭清扫用
纸回丝 擦拭清扫用
防尘口罩、手套、油性记号笔 -
警告
在进行真空泵拆下作业之前，请务必切断机器主电源。
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6. 更换损耗品 MEC-SFAB-005S0
162 SmartFAB 机械手册
3. 拆除正面下部的盖罩。
4. 拆除真空泵电源导线的插头与空气软管。
5. 卸下固定安装真空泵用筋板上的六角螺栓 （4 个）。
6. 请把真空泵拉到面前。
7. 握住手柄抬起真空泵，从机内取出真空泵。
警告
请务必 2 人以上共同作业。不要以不合理的姿势抬起泵。有可能损伤腰。
警告
泵停止后等待 30 分钟以上，在确认了泵冷却后，进行作业。刚停止运转
后，泵内部处在高温，成为烫伤的原因。
39MEC-0139
39MEC-0140
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MEC-SFAB-005S0 6. 更换损耗品
SmartFAB 机械手册 163
分解真空泵
1. 使用六角扳手松开固定手柄的内六角螺栓 （M6×L16），拆下手柄和板。
2. 竖起泵，使得工作头在上面。
3. 拆下工作头盖罩。
a. 使用六角扳手松开固定工作头盖罩的 4 个内六角螺栓 （M6×L30），拆下内六角螺
栓。
b. 两只手拉动装配接头，拔出连接软管，拆下工作头盖罩。此时，一点点交替拔出左
右的装配接头。
警告
进行以下的作业时，请配备防尘口罩和手套。细小的尘埃有可能随着呼吸
进入体内。
安装螺栓
板
手柄
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