MEC-SFAB-005S0SmartFAB机械手册.pdf - 第180页

6. 更换损耗品 MEC-SFAB-005S0 166 SmartFAB 机械手册 6. 从气缸上取出详细元件。 a. 松开排气阀压板固定用的盘头小螺钉（M3×L5）。 b. 拆下排气阀压板和排气阀座和排气阀。 c. 松开吸气阀压板固定用的盘头小螺钉（M3×L5）。 d. 拆下吸气阀压板和吸气阀。 e. 使用含有工业酒精的回丝，擦拭整个气缸进行脱脂和清扫。特别是吸排气阀的安装部和皮碗式密封件振动部，请仔细清扫。…

MEC-SFAB-005S0 6. 更换损耗品

SmartFAB 机械手册 165

5. 拆下压板和皮碗式密封件。

a. 对照盖板的标记部，使用油性笔在压板上做好标记。

b. 松开压板的 4 个埋头螺钉（M5×L12）。此时，用戴上手套的手拿住松开处的连杆。

c. 拆下压板。

d. 拆下皮碗式密封件。

e. 从压板上拆下吸气阀防干涉橡胶。

f. 使用含有工业酒精的回丝，擦拭压板进行脱脂和清扫。

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6. 更换损耗品 MEC-SFAB-005S0

166 SmartFAB 机械手册

6. 从气缸上取出详细元件。

a. 松开排气阀压板固定用的盘头小螺钉（M3×L5）。

b. 拆下排气阀压板和排气阀座和排气阀。

c. 松开吸气阀压板固定用的盘头小螺钉（M3×L5）。

d. 拆下吸气阀压板和吸气阀。

e. 使用含有工业酒精的回丝，擦拭整个气缸进行脱脂和清扫。特别是吸排气阀的安装

部和皮碗式密封件振动部，请仔细清扫。此时，请注意不要擦掉标记。

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SmartFAB 机械手册 167

组装真空泵

1. 使法兰盘部朝下，将新的皮碗式密封件安装在连杆上。

2. 从压板的反面插入新的吸气阀防干涉橡胶。

3. 对准压板的标记，旋紧 4 个埋头小螺钉（M5×L12）。

4. 将吸气阀安装到气缸上。

a. 在气缸上放置吸气阀（2 块），重叠吸气阀座和吸气阀压板。

b. 一边确认吸气阀没有接触到气缸的凹槽内周，一边使用盘头小螺钉（M3×L5）紧固

吸气阀压板。

備考 ) 吸气阀压板有安装方向。从孔中心到端面的尺寸小的方向与吸气阀的 R 侧必须一致，将吸气阀

压板的上侧作为表面进行安装。

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