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MEC-SFAB-005S0 6. 更换损耗品 SmartFAB 机械手册 167 组装真空泵 1. 使法兰盘部朝下，将新的皮碗式密 封件安装在连杆上。 2. 从压板的反面插入新的吸气阀防干 涉橡胶。 3. 对准压板的标记，旋紧 4 个埋头小螺钉 （M5×L12） 。 4. 将吸气阀安装到气缸上。 a. 在气缸上放置吸气阀 （2 块） ，重叠吸气阀座和吸气阀压 板。 b. 一边确认吸气阀没有接触到气缸的 凹槽内周，一边使用盘头小螺 钉 …
6. 更换损耗品 MEC-SFAB-005S0
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6. 从气缸上取出详细元件。
a. 松开排气阀压板固定用的盘头小螺钉 （M3×L5）。
b. 拆下排气阀压板和排气阀座和排气阀。
c. 松开吸气阀压板固定用的盘头小螺钉 （M3×L5）。
d. 拆下吸气阀压板和吸气阀。
e. 使用含有工业酒精的回丝，擦拭整个气缸进行脱脂和清扫。特别是吸排气阀的安装
部和皮碗式密封件振动部，请仔细清扫。此时，请注意不要擦掉标记。
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MEC-SFAB-005S0 6. 更换损耗品
SmartFAB 机械手册 167
组装真空泵
1. 使法兰盘部朝下，将新的皮碗式密封件安装在连杆上。
2. 从压板的反面插入新的吸气阀防干涉橡胶。
3. 对准压板的标记，旋紧 4 个埋头小螺钉 （M5×L12）。
4. 将吸气阀安装到气缸上。
a. 在气缸上放置吸气阀 （2 块），重叠吸气阀座和吸气阀压板。
b. 一边确认吸气阀没有接触到气缸的凹槽内周，一边使用盘头小螺钉 （M3×L5）紧固
吸气阀压板。
備考 ) 吸气阀压板有安装方向。从孔中心到端面的尺寸小的方向与吸气阀的 R 侧必须一致，将吸气阀
压板的上侧作为表面进行安装。
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6. 更换损耗品 MEC-SFAB-005S0
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5. 将排气阀安装到气缸上。
a. 在气缸上放置吸气阀，重叠排气阀座和排气阀压板。
b. 一边确认排气阀没有接触到气缸的凹槽内周，一边使用盘头小螺钉 （M3×L5）紧固
排气阀压板。
6. 将气缸对准标记，插入到皮碗式密封件部。
7. 更换工作头盖罩的垫圈。
a. 从工作头盖罩上拆下旧的垫圈。
b. 使用工业酒精清洗工作头盖罩，使用气枪吹干。
c. 将新的垫圈安装到工作头盖罩上。
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