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6. 更换损耗品 MEC-SFAB-005S0 164 SmartFAB 机械手册 4. 拆下气缸。 a. 在拆下气缸之前，请使用油性记号笔在盖板和气缸上做好标记。 b. 用戴上手套的手慢慢向上转动风扇。此时，请务必戴上手套。 c. 向上拔出气缸。 BkBQZFfJ BkBQZFfJ Downloaded at 2015/10/08 22:10:295 by 3NEC4804 DL#1KYbDsPP

MEC-SFAB-005S0 6. 更换损耗品

SmartFAB 机械手册 163

分解真空泵

1. 使用六角扳手松开固定手柄的内六角螺栓（M6×L16），拆下手柄和板。

2. 竖起泵，使得工作头在上面。

3. 拆下工作头盖罩。

a. 使用六角扳手松开固定工作头盖罩的 4 个内六角螺栓（M6×L30），拆下内六角螺

栓。

b. 两只手拉动装配接头，拔出连接软管，拆下工作头盖罩。此时，一点点交替拔出左

右的装配接头。

警告

进行以下的作业时，请配备防尘口罩和手套。细小的尘埃有可能随着呼吸

进入体内。

安装螺栓

板

手柄

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6. 更换损耗品 MEC-SFAB-005S0

164 SmartFAB 机械手册

4. 拆下气缸。

a. 在拆下气缸之前，请使用油性记号笔在盖板和气缸上做好标记。

b. 用戴上手套的手慢慢向上转动风扇。此时，请务必戴上手套。

c. 向上拔出气缸。

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MEC-SFAB-005S0 6. 更换损耗品

SmartFAB 机械手册 165

5. 拆下压板和皮碗式密封件。

a. 对照盖板的标记部，使用油性笔在压板上做好标记。

b. 松开压板的 4 个埋头螺钉（M5×L12）。此时，用戴上手套的手拿住松开处的连杆。

c. 拆下压板。

d. 拆下皮碗式密封件。

e. 从压板上拆下吸气阀防干涉橡胶。

f. 使用含有工业酒精的回丝，擦拭压板进行脱脂和清扫。

压板

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