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MEC-SFAB-005S0 6. 更换损耗品 SmartFAB 机械手册 163 分解真空泵 1. 使用六角扳手松开固定手柄的内六 角螺栓 （M6×L16） ，拆下手柄和板。 2. 竖起泵，使得工作头在上面。 3. 拆下工作头盖罩。 a. 使用六角扳手松开固定工作头盖罩 的 4 个内六角螺栓 （M6×L30 ） ，拆下内六角螺 栓。 b. 两只手拉动装配接头，拔出连接软 管，拆下工作头盖罩。此时，一点点 交替拔出左 右的装配接头。 警…
6. 更换损耗品 MEC-SFAB-005S0
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3. 拆除正面下部的盖罩。
4. 拆除真空泵电源导线的插头与空气软管。
5. 卸下固定安装真空泵用筋板上的六角螺栓 （4 个）。
6. 请把真空泵拉到面前。
7. 握住手柄抬起真空泵，从机内取出真空泵。
警告
请务必 2 人以上共同作业。不要以不合理的姿势抬起泵。有可能损伤腰。
警告
泵停止后等待 30 分钟以上，在确认了泵冷却后，进行作业。刚停止运转
后，泵内部处在高温，成为烫伤的原因。
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MEC-SFAB-005S0 6. 更换损耗品
SmartFAB 机械手册 163
分解真空泵
1. 使用六角扳手松开固定手柄的内六角螺栓 （M6×L16），拆下手柄和板。
2. 竖起泵，使得工作头在上面。
3. 拆下工作头盖罩。
a. 使用六角扳手松开固定工作头盖罩的 4 个内六角螺栓 （M6×L30），拆下内六角螺
栓。
b. 两只手拉动装配接头，拔出连接软管，拆下工作头盖罩。此时，一点点交替拔出左
右的装配接头。
警告
进行以下的作业时，请配备防尘口罩和手套。细小的尘埃有可能随着呼吸
进入体内。
安装螺栓
板
手柄
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4. 拆下气缸。
a. 在拆下气缸之前，请使用油性记号笔在盖板和气缸上做好标记。
b. 用戴上手套的手慢慢向上转动风扇。此时，请务必戴上手套。
c. 向上拔出气缸。
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