CPP7174210_YSi_ProgV3_C.pdf - 第137页
2-66 2 检 查 程 序 的 创 建 4 设置“异物检查”检查对象的“照明设定”参数。 1. 选择“提取照明类型” 。此例是使用 3D 高度检查来检出异物，因此需选择“高度” 。 2. 设置作为异物检出时的高度范围。 使用提取高度滑动条设置时 i. 按 [ 提取图像 ] 按钮。 ii. 调节提取高度滑动条，使只有检出对象物显示为红色。 调节值会自动输入“提取高度值 上限” “提取高度值 下限”栏中。 照明设定参数 使用提取高度滑动条…
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检查程序的创建
3.7 异物参数
在异物参数画面，可以设置各项参数来检查基板上是否有异物。在视野内除元件外的区域进行检查，检出芯片、
锡球、尘屑等异物。因毛刺等易被误检出的切槽等，则可以根据其形状创建相应的异物屏蔽框 ( 非检查区 )，使其
被排除在检查对象之外。本功能创建数据的方法非常简单，只需创建 1 个异物检查用数据 ( 检查对象数据 ) 就可以
全视野通用。检出方法可以使用光学“亮度”与“3D 高度检查”。
[数据编辑] -“异物”画面
检查项目信息
参数
视野信息
检查屏蔽信息
视野分布图
视野图像
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3.7.1 基板上异物检查数据的创建方法
下面，以使用 3D 高度检查将掉到基板上的芯片作为异物检出为例介绍创建异物检查数据的方法。
1
打开 [ 数据编辑 ]-“异物”画面。
2
将异物检查设置为“执行”。
3
创建异物检查用的检查对象。
1. 按“检查项目信息”的 [ 新建 ] 按钮，打开“新建检查对象”画面。
2. 勾选异物检查用的检查项目。
此例是使用 3D 高度检查来检出异物，因此需勾选“高度基准”与“异物检查”。
3. 按 [OK] 按钮，异物检查用检查对象即被创建。同时检出方法也被自动设定。
创建异物检查用的检查对象
[新建]按钮
检出方法
勾选检查对象
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检查程序的创建
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设置“异物检查”检查对象的“照明设定”参数。
1. 选择“提取照明类型”。此例是使用 3D 高度检查来检出异物，因此需选择“高度”。
2. 设置作为异物检出时的高度范围。
使用提取高度滑动条设置时
i. 按 [ 提取图像 ] 按钮。
ii. 调节提取高度滑动条，使只有检出对象物显示为红色。
调节值会自动输入“提取高度值 上限”“提取高度值 下限”栏中。
照明设定参数
使用提取高度滑动条设置
提取高度滑动条
[提取图像]按钮
“照明设定”选项卡
选择“高度”
提取高度值上限、下限
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参考
‧
元件检查区，将自动设置为非检查区，不会被作为异物检出。
‧
视野图像上的显示颜色
黑色 ：表示非检查区。该区域不会被检查。
灰色 ：表示检查区。该区域中与设置的条件相符的对象将被作为异物检出。
红色 ：表示被作为异物检出的区域。通过计算该区域的形状来判定是否作为异物判定为 NG。
使用 [ 抽样 ] 按钮设置时
i. 按 [ 提取 ] 按钮，打开“提取设定”画面。
ii. 根据需要，选择提取点的大小与抽样颜色。
iii. 在视野图像上点击需要提取的位置。与被点击处的高度相同的位置显示为在 ii. 中选定的颜色。
iv. 按 [ 应用 ] 按钮，保存设置。
照明设定参数
使用[抽样]按钮设置
[抽样]按钮[应用]按钮
降噪滤镜点击需要提取的位置
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参考
需要重新抽样点击时，按 [ 清除 ] 或 [ 全部清除 ] 按钮。按 1 次 [ 清除 ] 按钮，则删除 1 次点击所提取的区域。需要一次性删除所
有提取的区域时，按 [ 全部清除 ] 按钮。
3. 根据需要，设置“降噪滤镜”。
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检查程序的创建
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设置“异物检查”检查对象的“检出条件”。
检出条件参数
检查项目：异物检查
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异物亮度差
检出的区域与周围的亮度差超过此处的设定值时作为检查对象。此例是使用 3D 高度检查来检出异物，
因此无需设置本参数。
提取尺寸
将超过此处的设定值的区域作为检查对象。选择“手动”时，需输入“提取尺寸 X、Y(mm)”。
一般，选择“自动”。
n
要点
“高度基准”检查对象，与元件的检查对象不同，无需在“检出条件”参数中选择“提取范围”。一律无条件使用在“高度”选项卡
的“高度基准”副选项卡中创建的数据进行高度补偿。
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设置“异物检查”检查对象的“判定条件”参数。
判定条件参数
检查项目：异物检查
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异物判定条件
从下拉框中选择判定异物的条件。
‧
双向尺寸判定 ：
检出物的长边、短边尺寸都在“异物尺寸 ：长边、短边”中设定的值以上且不满在“除外尺寸 ：
长边、短边”中设定的值时，判定为 NG，即，检出物为异物。
‧
单向尺寸判定 ：
检出物的长边、短边尺寸中只要有一方在“异物尺寸 ：长边、短边”中设定的值以上且不满在
“除外尺寸 ：长边、短边”中设定的值时，就判定为 NG。即，检出物为异物。
异物尺寸 ：长边、短边 (mm) ＞＝
检出物的长边、短边大于或等于此处的设定值时，判定为 NG。即，检出物为异物。
除外尺寸 ：长边、短边 (mm) ＞
检出物的长边、短边超过此处的设定值时，不作为异物判定。
参考
“高度基准”检查对象没有“判定条件”参数。