CPP7174210_YSi_ProgV3_C.pdf - 第145页
2-74 2 检 查 程 序 的 创 建 e 保存选定的屏蔽数据。 1. 将选定的区域直接按提取的形状保存时,按 [ 创建领域 ] 按钮 ; 需要将选定的区域以外切矩形保存时, 按 [ 创建矩形 ] 按钮。 2. 显示确认对话框之后,按 [ 是 ] 按钮。 画面返回“异物”画面,被保存的数据显示在“检查屏蔽信息”中。视野图像中该区域显示为蓝绿色。 保存屏蔽数据 被保存的屏蔽数据 ■ 以创建领域保存了屏蔽数据的“异物”画面 ■ 以创建矩形…

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检查程序的创建
0
检出屏蔽区域。
按 [ 检出 ] 按钮,将自动按照登录的提取条件检出屏蔽区域。
被检出的区域以绿色边框显示,检出的数据显示在“提取屏蔽区域”画面中。
q
选择需要作为屏蔽数据使用的数据。
在视野图像上点击需要作为屏蔽数据使用的区域,屏蔽数据列表中的对应数据将自动被勾选。
检出与选择屏蔽数据
被检出的区域以绿色显示边框
[全选]按钮
屏蔽数据列表
被勾选的数据
被点击的区域变为桃红色显示
中登录的提取条件
262A6-P7-00
n
要点
‧
边按 [Ctrl] 键边在视野图像上点击需要作为屏蔽数据使用的区域,可以选择多个区域。
‧
直接在“提取屏蔽区域”画面的屏蔽数据列表中勾选“应用”栏的选择框,也可以选择。
‧
需要选择列表中的所有屏蔽数据时,按 [ 全选 ] 按钮。
w
根据需要,更改检出的屏蔽区域的尺寸。
1. 边按 [Ctrl] 键,边在视野图像上点击需要更改尺寸的屏蔽区域。
2. 按 [ 更改尺寸 ] 按钮,打开“更改屏蔽框尺寸”画面。
3. 输入需要更改的尺寸之后,按 [OK] 按钮。被选中的屏蔽区域的尺寸自动被更改。
更改屏蔽区域的尺寸
以扩大0.5mm为例
选中的区域
被扩大0.5mm之后的状态
更改之前
更改之后
[更改尺寸]按钮
输入0.5
262A7-P7-00
n
要点
‧
扩大屏蔽区域时,输入正值 ;缩小时,输入负值。
‧
直接在屏蔽数据列表中勾选多个数据之后按 [ 更改尺寸 ] 按钮时,只有光标所在的 1 行数据的区域被更改。

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2
检查程序的创建
e
保存选定的屏蔽数据。
1. 将选定的区域直接按提取的形状保存时,按 [ 创建领域 ] 按钮 ;需要将选定的区域以外切矩形保存时,
按 [ 创建矩形 ] 按钮。
2. 显示确认对话框之后,按 [ 是 ] 按钮。
画面返回“异物”画面,被保存的数据显示在“检查屏蔽信息”中。视野图像中该区域显示为蓝绿色。
保存屏蔽数据
被保存的屏蔽数据
■ 以创建领域保存了屏蔽数据的“异物”画面
■ 以创建矩形保存了屏蔽数据的“异物”画面
[创建领域]按钮 [创建矩形]按钮
262A8-P7-00
至此,异物屏蔽数据创建完毕。
■ 异物屏蔽数据的重新分配
异物屏蔽数据采用独立唯一的 ID 管理,该 ID 与各个视野的异物屏蔽数据相链接。手动移动过视野的位置时,该视野内原有
的屏蔽框可能会无法显示,取而代之新位置上的其它屏蔽框显示在该视野中。此时,可以按 [ 重新配备 ] 按钮,对所有视野
与所有屏蔽数据的位置关系进行自动计算并建立关联。
重新分配屏蔽数据
基板
屏蔽框
1号视野
A屏蔽框
C屏蔽框
[重新配备]按钮
■ 重新分配之前
的链接状态
■ 重新分配之后
的链接状态
进行重新分配
A
C
D
B
1号视野
1号视野
A
C
D
B
1号视野
移动位置
1号视野
B屏蔽框
D屏蔽框
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参考
在 [ 数据编辑 ] -“视野编辑”画面按 [ 自动 ] 按钮或 [ 全面异物 ] 按钮自动分配视野时,异物屏蔽数据也会自动被重新分配。

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检查程序的创建
■ 异物屏蔽数据的删除
不需要的异物屏蔽数据可以按 [ 删除 ] 按钮删除。在屏蔽数据列表中或视野图像上选择不需要的屏蔽数据之后,按 [ 删除 ]
按钮即可删除。一次性删除多个数据时,可以在视野图像上拖动鼠标框住多个不需要的屏蔽框之后,按 [ 删除 ] 按钮。
删除屏蔽数据
以一次性删除多个数据为例
拖动鼠标框住需删除的
屏蔽框
被选中的行(粉红色)
[行选择]按钮
[删除]按钮
262B0-P7-00
参考
在屏蔽数据列表上选择多个连续的数据删除时,边按 [Shift] 键边按需删除的首行与末行的 [ 行选择 ] 按钮;选择多个非连续数据时,
则边按 [Ctrl] 键边按需删除的行的 [ 行选择 ] 按钮之后,再按 [ 删除 ] 按钮。
■ 异物屏蔽数据的简单创建
若是矩形屏蔽数据,可以直接按 [ 创建 ] 按钮简单创建。
创建步骤 :
1.按 [ 创建 ] 按钮。
2.在视野图像上拖动鼠标框住需要屏蔽的范围。被框住的矩形范围的屏蔽数据即被创建。
简单创建屏蔽数据
用拖动鼠标指定范围
创建的屏蔽数据
矩形屏蔽框
[创建]按钮
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