CPP7174210_YSi_ProgV3_C.pdf - 第251页

4-33 4 检 查 项 目 的 设 置 C. 位置修正类型 选择进行位置修正时的位置基准。 D. 位置修正方式 该参数只有“位置修正类型”的设置为“无效”以外的选项时才有效。 ‧ 标准 : 对检查对象的检查位置进行修正。 2 测定基准高度。 按“数据调整”选项卡中的 [ 对象测试 ] 按钮,测定高度。 如果无法正确测定高度时,需参考画面中显示的测定值修改各项参数的设定值或调整测定位置。 对象测试 检出方法:3D高度检查 测定值 [对象…

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3. 将“屏蔽框设定”设置为“其他检查框的屏蔽框”时
在检查框内除其他检查框 ( 包括本元件、其它元件 ) 以外的范围内 ( 下图中红色区域 ) 测定高度。
设置方法
将“高度基准”检查框设置得比元件大。
提取范围
检查框内
其他元件
“高度基准”检查框
本元件
(非“高度基准”的其他检查对象)
选择“其他检查框的屏蔽框”
将“屏蔽框设定”设置为“其他检查框的屏蔽框”时
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B. 测定方法
该参数只有将“提取范围”选择为“检查框内”时才会显示。
从下拉框中选择计算基准高度的方法。
平均值 计算检查框内指定范围内的平均高度,作为基准高度。
最大值 将检查框内指定范围内的最大高度作为基准高度。
最小值 将检查框内指定范围内的最小高度作为基准高度。
中央值 将检查框内指定范围内的高度中间值作为基准高度。
最大频度值 将检查框内指定范围内的最多的高度作为基准高度。
参考
“高度基准”检查框内有元件时,若将“屏蔽框设定”设置为“无效”,则元件的高度会影响基准高度。为使接近基板面的位置作为
基准高度,需将“屏蔽框设定”设置为“其他检查框的屏蔽框”
基板颜色
将“高度”选项卡画面的“高度基准”副选项卡中设置的高度作为基准高度。
设置方法
i. [ 提取图像 ] 按钮,确认只有检出的基准高度部分显示为红色。
ii. 若未被正确检出时,修改“高度”选项卡画面的“高度基准”的“照明设定”参数。
提取范围
基板颜色
检出的基准高度
[提取图像]按钮
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参考
关于“高度”选项卡的“高度基准”副选项卡的设置方法,请参照第 2 章“3.4.2 高度基准”的内容。
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C. 位置修正类型
选择进行位置修正时的位置基准。
D. 位置修正方式
该参数只有“位置修正类型”的设置为“无效”以外的选项时才有效。
标准
对检查对象的检查位置进行修正。
2
测定基准高度。
按“数据调整”选项卡中的 [ 对象测试 ] 按钮,测定高度。
如果无法正确测定高度时,需参考画面中显示的测定值修改各项参数的设定值或调整测定位置。
对象测试
检出方法:3D高度检查
测定值
[对象测试]按钮
<检查项目:高度基准>
以将“提取范围”设置为“基板颜色”为例
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2.12.2 元件翘起、翘脚、翘件
创建测定对象位置高度的检查对象,测定高度并根据与基准高度之间的高度差来判定良否。
元件翘起 3D高度检查
检查项目:以“元件翘起”为例
检出方法:3D高度检查
“元件翘起”检查对象(红框)
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设置检出条件参数。
检出条件参数
检出方法:3D高度检查
<以检查项目:“元件翘起”为例>
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测定方法
从下拉框中选择计算高度测定值的方法。
平均值 计算检查框内的平均高度,作为高度测定值。
最大值 将检查框内的最大高度作为高度测定值。
最小值 将检查框内的最小高度作为高度测定值。
中央值 将检查框内的高度中间值作为高度测定值。
最大频度值 将检查框内最多的高度作为高度测定值。
位置修正类型
选择进行位置修正时的位置基准。
位置修正方式
该参数只有“位置修正类型”的设置为“无效”以外的选项时才有效。
标准 对检查对象的检查位置进行修正。