CPP7174210_YSi_ProgV3_C.pdf - 第140页
2-69 2 检 查 程 序 的 创 建 屏蔽框设定 不使用屏蔽框时，设置为“无效” ； 使用时，设置为“手动屏蔽”或“自动屏蔽” 。此例不使用屏蔽框， 因此设置为“无效” 。 NG 图像照明设定 根据需要，设置向基板维修站 ( 选配 ) 发送图像时的照明。 8 进行异物检查测试。 按 [ 测试 ] 按钮，进行异物检查测试。 若无法检出对象异物或在无异物的区域误检出了异物时，需参考画面中显示的检出值修改各项参数的 设定值。 异物检查测试…
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检查程序的创建
7
设置“选项”参数。
选项参数
检查项目：异物检查
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OK 跳转
设置判定结果为 OK 时接下来将检查的检查对象。通过设置本参数，可以跳过检查对象。
NG 跳转
设置判定结果为 NG 时接下来将检查的检查对象。通过设置本参数，可以进行分步检查与按其它条件
进行检查。
例如，将 2 号检查对象 (“提取照明类型”的设置为“高度”) 的“NG 跳转”设置为“下个对象”，即
3 号检查对象，并将 3 号检查对象的“提取照明类型”设置为“亮度”时，当在 2 号检查对象检出了
异物被判定为 NG 时，将自动跳转到 3 号检查对象用“亮度”再次进行检查。( 参照下图 )
NG jump 检查对象领域
“NG 跳转”设置为“未使用”以外的选项时，选择在跳转后的检查对象中再次进行检查时的检查范围。
‧
正常 ( 视野内范围 )
在跳转后的检查对象中 ( 下图中的 3 号检查对象 ) 按其它条件对整个视野进行检查。
‧
跳转前的 NG 判定领域
在跳转后的检查对象中 ( 下图中的 3 号检查对象 ) 按其它条件只对在跳转前的检查对象 ( 下图中的
2 号检查对象 ) 中检出了异物的区域进行检查。
NG跳转
检查对象领域
用亮度进行检查的3号检查对象
在2号检查对象中检出了
异物
在2号检查对象中检出了
异物
异物
跳转 跳转
在3号检查对象中按其它条件
对整个视野进行检查
在3号检查对象中按其它条件
只对在2号检查对象中检出了
异物的区域进行检查
整个视野
视野
检出了异物的区域
■ 设置为“正常(视野内范围)”时
■ 设置为“跳转前的NG判定领域”时
用高度进行检查的2号检查对象
将2号检查对象设置为“下个对象”
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NG 理由
输入在自动检查中被判定为 NG 时显示的理由。
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检查程序的创建
屏蔽框设定
不使用屏蔽框时，设置为“无效”；使用时，设置为“手动屏蔽”或“自动屏蔽”。此例不使用屏蔽框，
因此设置为“无效”。
NG 图像照明设定
根据需要，设置向基板维修站 ( 选配 ) 发送图像时的照明。
8
进行异物检查测试。
按 [ 测试 ] 按钮，进行异物检查测试。
若无法检出对象异物或在无异物的区域误检出了异物时，需参考画面中显示的检出值修改各项参数的
设定值。
异物检查测试
检查项目：异物检查
[测试]按钮 [全部测试]按钮
检出值
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n
要点
按 [ 测试结果 ] 按钮，可以查看通过测试检出的异物详细数据。在列表中选定需要查看的数据行，则视野图像中与该数据对应的
位置会显示为红色。
“检查结果”画面
检查项目：异物
[测定结果]按钮
[详细结果]按钮
选中需要查看的
数据
显示为红色
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n
要点
需要一次性对所有视野进行测试时，按 [ 全部测试 ] 按钮。各视野的测试详细数据则可以按 [ 详细结果 ] 按钮查看。
参考
按 [ 测试 ] 或［全部测试］按钮进行的异物检查 ( 以下总称“手动测试”) 与通过自动检查进行的异物检查，在检查对象区域上有所
不同。例如，1 号视野与 2 号视野有重复区域时，手动测试与自动检查的检查对象区域分别如下 ：
‧
手动测试 ：分别对 1 号视野与 2 号视野的整个区域进行异物检查。
‧
自动检查 ：对 1 号视野的整个区域进行检查，但在 2 号视野则对在 1 号视野中检查过的位置不再进行检查。
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检查程序的创建
3.7.2 异物屏蔽数据的创建方法
使用光学照明拍摄的图像检查异物时，若使用提取坡度用的照明图像，则可能会检出切槽边缘等而导致误检出。
因此，可以对无需检查的区域预先设置异物屏蔽区，将该区域排除在检查对象区之外。
屏蔽区(非检查区)的示例
需要排除在检查区
之外的区域
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■ 异物屏蔽数据的新建方法
下面，介绍在需要屏蔽的区域创建异物屏蔽数据的方法。
1
打开 [ 数据编辑 ]-“异物”画面。
2
选择需要设置屏蔽区的视野。
在视野分布图上点击需要设置屏蔽区的视野。被点击的视野的图像显示在下侧的视野图像中。
参考
在“视野信息”列表中选择需要设置屏蔽区的视野，再按 [ 移动 ] 按钮，也可以使该视野的图像显示在下侧的视野图像中。
3
打开“提取屏蔽区域”画面。
按“检查屏蔽信息”分组框中的 [ 编辑 ] 按钮，打开“提取屏蔽区域”画面。
“提取屏蔽区域”画面
视野图像
“提取屏蔽区域”画面
视野信息[移动]按钮
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