CPP7174210_YSi_ProgV3_C.pdf - 第141页
2-70 2 检 查 程 序 的 创 建 3.7.2 异物屏蔽数据的创建方法 使用光学照明拍摄的图像检查异物时，若使用提取坡度用的照明图像，则可能会检出切槽边缘等而导致误检出。 因此，可以对无需检查的区域预先设置异物屏蔽区，将该区域排除在检查对象区之外。 屏蔽区(非检查区)的示例 需要排除在检查区 之外的区域 262A1-P7-00 ■ 异物屏蔽数据的新建方法 下面，介绍在需要屏蔽的区域创建异物屏蔽数据的方法。 1 打开 [ 数据编辑 …
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检查程序的创建
屏蔽框设定
不使用屏蔽框时，设置为“无效”；使用时，设置为“手动屏蔽”或“自动屏蔽”。此例不使用屏蔽框，
因此设置为“无效”。
NG 图像照明设定
根据需要，设置向基板维修站 ( 选配 ) 发送图像时的照明。
8
进行异物检查测试。
按 [ 测试 ] 按钮，进行异物检查测试。
若无法检出对象异物或在无异物的区域误检出了异物时，需参考画面中显示的检出值修改各项参数的
设定值。
异物检查测试
检查项目：异物检查
[测试]按钮 [全部测试]按钮
检出值
26299-P7-00
n
要点
按 [ 测试结果 ] 按钮，可以查看通过测试检出的异物详细数据。在列表中选定需要查看的数据行，则视野图像中与该数据对应的
位置会显示为红色。
“检查结果”画面
检查项目：异物
[测定结果]按钮
[详细结果]按钮
选中需要查看的
数据
显示为红色
262A0-P7-00
n
要点
需要一次性对所有视野进行测试时，按 [ 全部测试 ] 按钮。各视野的测试详细数据则可以按 [ 详细结果 ] 按钮查看。
参考
按 [ 测试 ] 或［全部测试］按钮进行的异物检查 ( 以下总称“手动测试”) 与通过自动检查进行的异物检查，在检查对象区域上有所
不同。例如，1 号视野与 2 号视野有重复区域时，手动测试与自动检查的检查对象区域分别如下 ：
‧
手动测试 ：分别对 1 号视野与 2 号视野的整个区域进行异物检查。
‧
自动检查 ：对 1 号视野的整个区域进行检查，但在 2 号视野则对在 1 号视野中检查过的位置不再进行检查。
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2
检查程序的创建
3.7.2 异物屏蔽数据的创建方法
使用光学照明拍摄的图像检查异物时，若使用提取坡度用的照明图像，则可能会检出切槽边缘等而导致误检出。
因此，可以对无需检查的区域预先设置异物屏蔽区，将该区域排除在检查对象区之外。
屏蔽区(非检查区)的示例
需要排除在检查区
之外的区域
262A1-P7-00
■ 异物屏蔽数据的新建方法
下面，介绍在需要屏蔽的区域创建异物屏蔽数据的方法。
1
打开 [ 数据编辑 ]-“异物”画面。
2
选择需要设置屏蔽区的视野。
在视野分布图上点击需要设置屏蔽区的视野。被点击的视野的图像显示在下侧的视野图像中。
参考
在“视野信息”列表中选择需要设置屏蔽区的视野，再按 [ 移动 ] 按钮，也可以使该视野的图像显示在下侧的视野图像中。
3
打开“提取屏蔽区域”画面。
按“检查屏蔽信息”分组框中的 [ 编辑 ] 按钮，打开“提取屏蔽区域”画面。
“提取屏蔽区域”画面
视野图像
“提取屏蔽区域”画面
视野信息[移动]按钮
262A2-P7-00
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2
检查程序的创建
4
选择提取用信息库的分类。
从“分类”下拉框中选择“用户”。
c
注意
“标准”提取用信息库无法编辑。
5
新建提取条件。
1. 按 [ 新建 ] 按钮，打开新建提取条件的画面。
2. 在“名称”输入框中输入新提取条件的名称。
3. 根据需要输入备注。
4. 按 [OK] 按钮，打开设定提取条件的画面。
参考
修改已有的提取条件使用时，从“照明设定”下拉框中选定已有的提取条件之后，按 [ 编辑 ] 按钮，打开设定提取条件的画面。
新建提取条件
[新建]按钮
[编辑]按钮
输入名称
照明设定
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6
选择“提取照明类型”。
从“亮度”“色度”“坡度”“互换”“高度”中选择。此处，以“色度”为例介绍。
7
选择提取光。
按 [ 提取光 ] 按钮，从提取光列表中选择 1 张需要屏蔽的区域反差最明显的图像。
选择提取光
提取照明类型：色度
选择提取照明类型
[抽出光]按钮
选择图像
262A4-P7-00