CPP7174210_YSi_ProgV3_C.pdf - 第250页
4-32 4 检 查 项 目 的 设 置 3. 将“屏蔽框设定”设置为“其他检查框的屏蔽框”时 在检查框内除其他检查框 ( 包括本元件、其它元件 ) 以外的范围内 ( 下图中红色区域 ) 测定高度。 设置方法 ： 将“高度基准”检查框设置得比元件大。 提取范围 检查框内 其他元件 “高度基准”检查框 本元件 (非“高度基准”的其他检查对象) 选择“其他检查框的屏蔽框” 将“屏蔽框设定”设置为“其他检查框的屏蔽框”时 26451-P7-0…
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检查项目的设置
■ 检查框内
将检查框内的高度作为基准高度。设置方法，根据“选项”参数中的“屏蔽框设定”的设置不同，有
下列 3 种方法。
1. 将“屏蔽框设定”设置为“无效”时
无屏蔽框，在整个检查框范围内测定高度。
设置方法 ：
将“高度基准”检查对象移到高度基准范围内的任意位置之后，根据该位置调节检查框的大小。
提取范围
检查框内
“高度基准”检查对象
选择“无效”
将“屏蔽框设定”设置为“无效”时
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2. 将“屏蔽框设定”设置为“手动屏蔽”时
在检查框内除指定的屏蔽框以外的范围内测定高度。屏蔽框最多可以指定 3 个。屏蔽框的形状为
矩形或圆形。
设置方法 ：
i. 将“高度基准”检查框设置得比元件大。
ii. 按“选项”选项卡中的 [ 屏蔽框示教 ] 按钮，创建屏蔽框。
iii. 拖动鼠标将屏蔽框移到需要屏蔽的位置并调节屏蔽框的大小。屏蔽框的坐标与尺寸自动输入
“屏蔽框中心偏移量 (X、Y)”、“屏蔽框尺寸 (X、Y)”中。
iv. 按 [ 提取图像 ] 按钮，确认只有检出的基准高度部分显示为红色。
提取范围
检查框内
“高度基准”检查框(红框) 屏蔽框(蓝框) [屏蔽框示教]按钮
[提取图像]按钮
选择“手动屏蔽”
测定高度的区域
将“屏蔽框设定”设置为“手动屏蔽”时
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检查项目的设置
3. 将“屏蔽框设定”设置为“其他检查框的屏蔽框”时
在检查框内除其他检查框 ( 包括本元件、其它元件 ) 以外的范围内 ( 下图中红色区域 ) 测定高度。
设置方法 ：
将“高度基准”检查框设置得比元件大。
提取范围
检查框内
其他元件
“高度基准”检查框
本元件
(非“高度基准”的其他检查对象)
选择“其他检查框的屏蔽框”
将“屏蔽框设定”设置为“其他检查框的屏蔽框”时
26451-P7-00
B. 测定方法
该参数只有将“提取范围”选择为“检查框内”时才会显示。
从下拉框中选择计算基准高度的方法。
‧
平均值 ：计算检查框内指定范围内的平均高度，作为基准高度。
‧
最大值 ：将检查框内指定范围内的最大高度作为基准高度。
‧
最小值 ：将检查框内指定范围内的最小高度作为基准高度。
‧
中央值 ：将检查框内指定范围内的高度中间值作为基准高度。
‧
最大频度值 ：将检查框内指定范围内的最多的高度作为基准高度。
参考
“高度基准”检查框内有元件时，若将“屏蔽框设定”设置为“无效”，则元件的高度会影响基准高度。为使接近基板面的位置作为
基准高度，需将“屏蔽框设定”设置为“其他检查框的屏蔽框”。
■ 基板颜色
将“高度”选项卡画面的“高度基准”副选项卡中设置的高度作为基准高度。
设置方法 ：
i. 按 [ 提取图像 ] 按钮，确认只有检出的基准高度部分显示为红色。
ii. 若未被正确检出时，修改“高度”选项卡画面的“高度基准”的“照明设定”参数。
提取范围
基板颜色
检出的基准高度
[提取图像]按钮
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参考
关于“高度”选项卡的“高度基准”副选项卡的设置方法，请参照第 2 章“3.4.2 高度基准”的内容。
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检查项目的设置
C. 位置修正类型
选择进行位置修正时的位置基准。
D. 位置修正方式
该参数只有“位置修正类型”的设置为“无效”以外的选项时才有效。
‧
标准 ：
对检查对象的检查位置进行修正。
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测定基准高度。
按“数据调整”选项卡中的 [ 对象测试 ] 按钮，测定高度。
如果无法正确测定高度时，需参考画面中显示的测定值修改各项参数的设定值或调整测定位置。
对象测试
检出方法：3D高度检查
测定值
[对象测试]按钮
＜检查项目：高度基准＞
以将“提取范围”设置为“基板颜色”为例
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