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QD145-11 4. 传感器配置图 NXT II 机械手册 81 4.15 料盘单元 -LTC 传感器 4.15.1 安全门 No. 地址 信号名 1 IN00 紧急停止 SW 2 IN06 上部料盘箱安全门关闭确认 3 IN07 下部料盘箱安全门关闭确认 No. 地址 信号 名 4 X206 上部料盘箱结束 PB 输入 5 X209 下部料盘箱结束 PB 输入 01MEC-0501 2 1 3 4 5 T ray unit-L TC

4. 传感器配置图 QD145-11
80 NXT II 机械手册
4.14.4 元件搬运轨道
No. 地址 信号名
1 IN02 JOG 模式
2 IN04 不良元件排出许可确认 (旁侧)
3 IN03 不良元件排出许可确认 (中央)
4 IN05 不良元件 C/V 送料记数
1
2
3
4
Tray unit-LT
01MEC-0225

QD145-11 4. 传感器配置图
NXT II 机械手册 81
4.15 料盘单元 -LTC 传感器
4.15.1 安全门
No. 地址 信号名
1 IN00 紧急停止 SW
2 IN06 上部料盘箱安全门关闭确认
3 IN07 下部料盘箱安全门关闭确认
No. 地址 信号名
4 X206 上部料盘箱结束 PB 输入
5 X209 下部料盘箱结束 PB 输入
01MEC-0501
2
1
3
4
5
Tray unit-LTC

4. 传感器配置图 QD145-11
82 NXT II 机械手册
4.15.2 料盘塔
No. 地址 信号名
1 IN1F 下部料盘箱锁定确认
2 IN1E 上部料盘箱锁定确认
3 IN1C 上部料盘箱锁定确认
4 IN1D 下部料盘箱锁定确认
5 IN22 上部料盘箱料盘高度确认
6 IN24 下部料盘箱料盘高度确认
7 IN21 托架收存确认
8 IN20 料盘箱干涉确认
9 往复臂料盘高度监视 (中)
10 往复臂料盘高度监视 (下)
01MEC-0502
1
2
9
10
Tray unit-LTC
5
6
7
7
3
4
8