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6. 预防保养 QD145-11 190 NXT II 机械手册 搬运轨道传送带 - - - - - - - ● *6 软支撑销 - - - - - - - ● *9 CZ 轴传送带张力 - - - - - - - ■ *10 搬运马达传送带张力 - - - - - - - ■ *6 变更宽度马达传送带张力 - - - - - - - ■ *11 XY 机械手 〈M3-2〉 线性马达冷却风扇过滤器 - - - ● - ▲ - - X 轴…
QD145-11 6. 预防保养
NXT II 机械手册 189
H12HS 工作
头
真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20
升降杆内部 - - ● - - - - - 35
升降杆和升降杆内 O 型圈 - - ★ - - - - - 10
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - - ★ - - - - - 5
机械阀的 O 型圈 - - ■ -- -
▲
-15
60
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - ★ - - - 5
R 轴齿轮 - - - - ★ - - - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 10
机械阀驱动用凸轮推杆 - - - - - - ★ - 10
V12 工作头 镜子 ● - - - - ▲ - - 5
升降杆和升降杆内 O 型圈 - ★ - - - - - - 10
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - ★ - - - - - - 5
真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20
升降杆内部 - - ● - - - - - 35
机械阀的 O 型圈 - - ■ -- -
▲
-15
60
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - ★ - - - 5
R 轴齿轮 - - - - ★ - - - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 10
机械阀驱动用凸轮推杆 - - - - - - ★ - 10
槽凸轮的槽 - - - - - - ★ - 5
搬运轨道 CZ 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 15
宽度变更滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
搬运轨道传送带张力 - - - - - - ■ ▲*6 10
维修保养项目
（●：清扫、★：加油、■：检查、▲：更
换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间 ( 分 )
6. 预防保养 QD145-11
190 NXT II 机械手册
搬运轨道传送带 - - - - - - - ● *6
软支撑销 - - - - - - - ● *9
CZ 轴传送带张力 - - - - - - - ■ *10
搬运马达传送带张力 - - - - - - - ■ *6
变更宽度马达传送带张力 - - - - - - - ■ *11
XY 机械手
〈M3-2〉
线性马达冷却风扇过滤器 - - - ● - ▲ - -
X 轴齿轮 - - - ★ - - - - 2
X 轴滚珠丝杆 - - - - ★ - - - 5
X 轴 LM 导轨 - - - - ★ - - - 5
Y 轴 LM 导轨 - - - - ★ - - - 5
XS 轴齿轮 - - - ★ - - - - 2
XS 轴滚珠丝杆 - - - - ★ - - - 5
XS 轴 LM 导轨 - - - - ★ - - - 5
X/Y 轴平型电缆 - - - ★ ★ - - - 10
XY 机械手
〈M6-2〉
线性马达冷却风扇过滤器 - - - ● - ▲ - -
X 轴齿轮 - - - ★ - - - - 2
X 轴滚珠丝杆 - - - - ★ - - - 5
X 轴 LM 导轨 - - - - ★ - - - 5
Y 轴 LM 导轨 - - - - ★ - - - 5
X/Y 轴平型电缆 - - - ★ ★ - - - 10
定位相机 光源内板透镜面 - - - - - ● - - 3
元件相机 玻璃罩面 ● - - - - - - - 2
光源内玻璃面 ● - - - - - - - 2
镜头 - - - - - ● - - 15
废料带处理
单元
LM 导轨 - - - - - - ★ - 20
切刀 - - - - - - - ● *7 20
输送槽 - - - - - - - ● *8 15
刷子 - - - - - - - ● *14 20
维修保养项目
（●：清扫、★：加油、■：检查、▲：更
换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间 ( 分 )
QD145-11 6. 预防保养
NXT II 机械手册 191
主体 模组内部 ● - - - - - - - 2
基座·模组支持面 - - - ★ - - - - 5
空气调节器 - - - - - ● - - 15
湿气分离器 - - - - - - ● - 15
真空泵过滤器 - - - - - - ● - 15
排出元件搬
运轨道
搬运轨道皮带 - - ● - - - - - 5
料盘单元 -L 搬运轨道皮带 - - ● - - - - - 5
往复臂皮带 - - ● - - - - - 5
控制箱空气过滤器 - - - - - - ● - 10
TZ 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
升降部齿轮 - - - - - - ★ - 10
TZ 轴皮带张力 - - - - - - ■ -10
TY 轴皮带张力 （往复臂） - - - - - - ■ -10
TY 轴皮带张力 （驱动部） - - - - - - ■ -10
料盘单元 -
LT
料站、接插头 ● - - - - - - - 1
搬运轨道皮带 - - ● - - - - - 5
往复臂皮带 - - ● - - - ● - 5
TZ1/TZ2 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
升降部齿轮 - - - - - - ★ - 10
TZ1/TZ2 轴皮带张力 - - - - - - ■ -10
TY 轴皮带张力 （往复臂） - - - - - - ■ -10
TY 轴皮带张力 （驱动部） - - - - - - ■ -10
维修保养项目
（●：清扫、★：加油、■：检查、▲：更
换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间 ( 分 )