NXT part list(Vol.1-Vol.3).pdf - 第12页
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3. BASE 3. ベース
3.1. BASE 3.1. ベース
3.1.1. 2M-BASE……………………………………………………………………
…
132 3.1.1. 2M-ベース…………………………………………………………
…
132
3.1.2. 2M-BASE CONTROL BOX……………………………………………………
…
160 3.1.2. 2M-ベース- コントロール BOX…………………………………
…
160
3.1.3. 4M-BASE……………………………………………………………………
…
170 3.1.3. 4M-ベース…………………………………………………………
…
170
3.2. EXTERNAL VACUUM PUMP………………………………………………………………
…
208 3.2. 増設バキュームポンプ……………………………………………………
…
208
3.3. BASE LINKING PARTS…………………………………………………………………
…
210 3.3. ベース連結部品……………………………………………………………
…
210
4. MODULE 4. モジュール
4.1. BED 4.1. ベッド
4.1.1. M3S-BED……………………………………………………………………
…
212 4.1.1. M3S-ベッド………………………………………………………
…
212
4.1.2. M6S-BED……………………………………………………………………
…
236 4.1.2. M6S-ベッド………………………………………………………
…
236
4.2. COVER 4.2. カバー
4.2.1. M3S-TOP COVER……………………………………………………………
…
260 4.2.1. M3S-トップカバー………………………………………………
…
260
4.2.2. M6S-TOP COVER……………………………………………………………
…
264 4.2.2. M6S-トップカバー………………………………………………
…
264
4.2.3. SIDE COVER-RIGHT…………………………………………………………
…
268 4.2.3. サイドカバー右…………………………………………………
…
268
4.2.4. SIDE COVER-LEFT…………………………………………………………
…
272 4.2.4. サイドカバー左…………………………………………………
…
272
4.2.5. SEAMLESS COVER-BETWEEN BASE…………………………………………
…
276 4.2.5. シームレスカバー ベース間……………………………………
…
276
4.2.6. SEAMLESS COVER-BETWEEN MODULE………………………………………
…
280 4.2.6. シームレスカバー モジュール間………………………………
…
280
4.2.7. SEAMLESS COVER-MODULE RIGHT SIDE……………………………………
…
282 4.2.7. シームレスカバー モジュール右側……………………………
…
282
4.2.8. SEAMLESS COVER-MODULE LEFT SIDE……………………………………
…
284 4.2.8. シームレスカバー モジュール左側……………………………
…
284
5. XY-ROBOT 5. ＸＹロボット
5.1. X SLIDE 5.1. X-スライド
5.1.1. M3S-X SLIDE………………………………………………………………
…
286 5.1.1. M3S-Xスライド……………………………………………………
…
286
5.1.2. M6S-X SLIDE………………………………………………………………
…
298 5.1.2. M6S-Xスライド……………………………………………………
…
298
5.2. Y SLIDE 5.2. Y-スライド
5.2.1. M3S-Y SLIDE………………………………………………………………
…
306 5.2.1. M3S-Yスライド……………………………………………………
…
306
5.2.2. M6S-Y SLIDE………………………………………………………………
…
314 5.2.2. M6S-Yスライド……………………………………………………
…
314
ＣＯＮＴＥＮＴＳ 目次
6. CONVEYOR 6. コンベア
6.1. SINGLE CONVEYOR 6.1. シングルコンベア
6.1.1. M3S-SINGLE CONVEYOR……………………………………………………
…
16 6.1.1. M3S-シングルコンベア…………………………………………
…
16
6.1.2. M6S-SINGLE CONVEYOR……………………………………………………
…
50 6.1.2. M6S-シングルコンベア…………………………………………
…
50
6.1.3. M6S-SINGLE CONVEYOR S…………………………………………………
…
86 6.1.3. M6S-シングルコンベア S………………………………………
…
86
6.2. DOUBLE CONVEYOR 6.2. ダブルコンベア
6.2.1. M3S-DOUBLE CONVEYOR……………………………………………………
…
116 6.2.1. M3S-ダブルコンベア……………………………………………
…
116
6.2.2. M6S-DOUBLE CONVEYOR……………………………………………………
…
178 6.2.2. M6S-ダブルコンベア……………………………………………
…
178
6.3. AUTO BACK-UP PINS 6.3. 自動バックアップピン
6.3.1. M3S-AUTO BACK-UP PINS…………………………………………………
…
220 6.3.1. M3S-自動バックアップピン……………………………………
…
220
6.3.2. M6S-AUTO BACK-UP PINS…………………………………………………
…
222 6.3.2. M6S-自動バックアップピン……………………………………
…
222
6.3.3. M3S-BACK UP PLATE………………………………………………………
…
224 6.3.3. M3S-バックアップ プレート……………………………………
…
224
6.3.4. M6S-BACK UP PLATE………………………………………………………
…
228 6.3.4. M6S-バックアップ プレート……………………………………
…
228
6.4. SOFT BACK-UP PINS…………………………………………………………………
…
230 6.4. ソフトバックアップピン…………………………………………………
…
230
6.5. PANEL POSITION CORRECTION FUNCTION 6.5. 基板停止位置補正機能
6.5.1. M3S-PANEL POSITION CORRECTION FUNCTION(
FOR MANUAL BACK-UP PIN) 232 6.5.1. M3S-基板停止位置補正機能(手動バックアップピン用)……
…
232
6.5.2. M6S-PANEL POSITION CORRECTION FUNCTION(
FOR MANUAL BACK-UP PIN) 234 6.5.2. M6S-基板停止位置補正機能(手動バックアップピン用)……
…
234
6.5.3. M3S-PANEL POSITION CORRECTION FUNCTION(
FOR AUTO BACK-UP PIN)
…
236 6.5.3. M3S-基板停止位置補正機能(自動バックアップピン用)……
…
236
6.5.4. M6S-PANEL POSITION CORRECTION FUNCTION(
FOR AUTO BACK-UP PIN)
…
238 6.5.4. M6S-基板停止位置補正機能(自動バックアップピン用)……
…
238
6.6. ROLLER CONVEYOR 6.6. ローラ搬送コンベア
6.6.1. M3S-ROLLER CONVEYOR(SINGLE CONVEYOR)………………………………
…
240 6.6.1. M3S-ローラ搬送コンベア(シングルコンベア)………………
…
240
6.6.2. M3S-ROLLER CONVEYOR(DOUBLE CONVEYOR)………………………………
…
242 6.6.2. M3S-ローラ搬送コンベア(ダブルコンベア)…………………
…
242
6.6.3. M6S-ROLLER CONVEYOR(SINGLE CONVEYOR)………………………………
…
244 6.6.3. M6S-ローラ搬送コンベア(シングルコンベア)………………
…
244
6.6.4. M6S-ROLLER CONVEYOR(DOUBLE CONVEYOR)………………………………
…
246 6.6.4. M6S-ローラ搬送コンベア(ダブルコンベア)…………………
…
246